特許
J-GLOBAL ID：201103080438683361
多成分系ガラス基板の洗浄方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤村 康夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-070148
公開番号（公開出願番号）：特開2000-262991
特許番号：特許第3801804号
出願日： 1999年03月16日
公開日（公表日）： 2000年09月26日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 研磨後の多成分系ガラス基板であって酸に弱い成分を含む多成分系ガラス基板を、フッ素系溶液で処理する工程およびその後にアルカリを含む洗浄剤で処理する工程を行う研磨後の洗浄工程を有する多成分系ガラス基板の製造方法であって、
前記研磨後の洗浄工程において、pHが3以上7以下のフッ素系溶液で処理することにより、酸に弱い成分の選択溶解を抑制し、アルカリを含む洗浄剤で洗浄する際の潜傷の発生を抑制することを特徴とする多成分系ガラス基板の製造方法。
IPC (5件)：
B08B 3/08 ( 200 6.01)
, C03C 15/00 ( 200 6.01)
, C03C 15/02 ( 200 6.01)
, C03C 23/00 ( 200 6.01)
, G11B 5/84 ( 200 6.01)
B08B 3/08 A
, C03C 15/00 B
, C03C 15/02
, C03C 23/00 A
, G11B 5/84 A
