特許
J-GLOBAL ID：201103080608450855
耐蝕性部材
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
杉村 憲司
, 岡島 伸行
, 杉村 興作
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-318125
公開番号（公開出願番号）：特開2002-128568
特許番号：特許第4641609号
出願日： 2000年10月18日
公開日（公表日）： 2002年05月09日
請求項（抜粋）：
【請求項1】イオン衝撃をもたらす腐食性ガスに対して曝露されるべき耐蝕面が設けられている耐蝕性部材であって、
前記耐蝕性部材の少なくとも一部が開気孔率5%以下の窒化珪素焼結体からなり、この窒化珪素焼結体が前記耐蝕面を構成しており、前記窒化珪素焼結体の前記耐蝕面と垂直に交わる面を切り出して副面として配向性を測定したとき、互いに垂直方向に位置する2つの副面の間の配向指数が0.8以上、1.2以下であり、前記耐蝕面と前記副面との間の配向指数が1.5以上であると共に、
前記窒化珪素焼結体の原料としてα型の窒化珪素粉末を用い、窒素(N2)雰囲気中でカーボンにて取り囲みながら焼成したものであり、更に当該窒化珪素焼結体における1a族元素および及び4a-3b族元素の合計含量が50重量ppm以下であり、
更に、2a族元素および3a族元素からなる群より選ばれた一種以上の元素が、金属元素換算で前記窒化珪素焼結体の原料とした窒化珪素粉末に対して外配で合計1-15モル%含有されていることを特徴とする、耐蝕性部材。
[2つの副面の間の配向指数=
[Is1(320)/(Is1(320)+Is1(002))/[Is2(320)/(Is2(320)+Is2(002));
(Is1(320)は、一方の副面Is1におけるβ型窒化珪素の320面によるX線回折強度を示し、Is1(002)は、副面Is1におけるβ型窒化珪素の002面によるX線回折強度を示し、Is2(320)は、他方の副面Is2におけるβ型窒化珪素の320面によるX線回折強度を示し、Is2(002)は、副面Is2におけるβ型窒化珪素の002面によるX線回折強度を示す):
耐蝕面と副面との間の配向指数=
[Im(320)/(Im(320)+Im(002))]/[Is(320)/(Is(320)+(Is(002)));
(Im(320)は、耐蝕面mにおけるβ型窒化珪素の320面によるX線回折強度を示し、Im(002)は、耐蝕面mにおけるβ型窒化珪素の002面によるX線回折強度を示し、Is(320)は、副面Isにおけるβ型窒化珪素の320面によるX線回折強度を示し、Is(002)は、副面Isにおけるβ型窒化珪素の002面によるX線回折強度を示す)
IPC (1件)：
FI (2件)：
C04B 35/58 102 Z
, C04B 35/58 102 C
