振動変換器およびこの振動変換器を備えた加速度センサ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：有我軍一郎
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-259754
公開番号（公開出願番号）：特開2001-083004
特許番号：特許第3805576号
出願日： 1999年09月14日
公開日（公表日）： 2001年03月30日
請求項（抜粋）：

【請求項1】振動を電気信号に変換する振動変換器であって、電極面を有する第1の電極と、この第1の電極の電極面と所定の間隔で実質的に平行に離隔して対向する平面を有し、この平面と実質的に垂直な方向に振動可能な振動体と、この振動体の前記平面上に形成された第2の電極と、前記第1および第2の電極の間に介在するエレクトレット膜と、を含むコンデンサと、天面と、下端外周部につば状の取付部と、導電性の内部表面と、を有する筒状のケースと、所定の導電路が設けられた平面を有する回路基板と、この回路基板の平面上に載置され、前記第1および第2の電極のうちの一方の電極と前記導電路を介して電気的に接続された電気インピーダンス変換器と、前記一方の電極を前記ケースの前記内部表面と絶縁するとともに、他方の電極を前記ケースの前記内部表面と電気的に接続するように、前記コンデンサを前記ケース内に保持する絶縁体と、を備え、前記回路基板が、前記電気インピーダンス変換器を前記ケース内に収容するように、前記ケースの取付部と機械的に固定されるとともに前記導電路を介して電気的に接続されたことを特徴とする振動変換器。

IPC (3件)：

G01H 11/06 ( 200 6.01) , G01P 15/125 ( 200 6.01) , H04R 19/01 ( 200 6.01)

FI (3件)：

G01H 11/06 , G01P 15/125 , H04R 19/01

引用特許：

出願人引用 (16件)

特開昭48-061128
特開昭59-079700
特開昭63-012927

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