特許
J-GLOBAL ID：201103085079950148
ArFエキシマレーザ装置、KrFエキシマレーザ装置及びフッ素レーザ装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (7件)：
韮澤 弘
, 阿部 龍吉
, 蛭川 昌信
, 内田 亘彦
, 菅井 英雄
, 青木 健二
, 米澤 明
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-072201
公開番号（公開出願番号）：特開2001-267666
特許番号：特許第3775469号
出願日： 2000年03月15日
公開日（公表日）： 2001年09月28日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 磁気パルス圧縮回路の出力端に接続され、レーザチェンバー内に配置された一対のレーザ放電電極とその一対のレーザ放電電極と並列に接続されたピーキングコンデンサとを有するArFエキシマレーザ装置において、
レーザパルスの出力波形が共振器中のラウンドトリップに対応する周期の小さい波形が重畳された前半ピークと後半ピークとからなる二山形状の波形であり、前半ピークのピーク値をP1 、後半ピークのピーク値をP2 とし、
(パルス後半部の割合)=P2 /(P1 +P2 )×100(%)
とするとき、(パルス後半部の割合)が50%以上であることを特徴とするArFエキシマレーザ装置。
IPC (3件)：
H01S 3/097 ( 200 6.01)
, H01S 3/0977 ( 200 6.01)
, H01S 3/225 ( 200 6.01)
H01S 3/097 A
, H01S 3/097 E
, H01S 3/223 E
