特許
J-GLOBAL ID：201103087313905456
配向ペロブスカイト酸化物薄膜
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-274161
公開番号（公開出願番号）：特開2011-236112
出願日： 2010年12月09日
公開日（公表日）： 2011年11月24日
要約：
【課題】無配向基板上の(001)配向Dion-Jacobsonペロブスカイト型酸化物薄膜及びその上部に(001)配向し高特性が期待できる種々のペロブスカイト型酸化物薄膜を形成する製造方法及びそれによって得られるペロブスカイト型(001)配向多層膜を提供する。【解決手段】無配向基板上に形成された特定の組成式Aで表されるDion-Jacobsonペロブスカイト型金属酸化物を形成することができる有機金属塩あるいはアルコキシド塩からなる薄膜又は非晶質薄膜を基板上に形成し、室温から600°Cの温度に保持し、基板上の薄膜に紫外レーザ等の紫外光を照射しつつ結晶化を行うことによって、基板上に(001)方向に配向することを特徴とする配向Dion-Jacobsonペロブスカイト型酸化物薄膜を形成することを含む方法。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
組成式A(Bn-1MnO3n+1)(nは2以上の自然数で、AはNa、K、Rb、Csより選ばれる1種以上の1価カチオンであり、Bは3価の希土類イオン及びBi、2価のアルカリ土類金属イオン、1価のアルカリ金属イオンより選ばれる1種以上で構成され、MはNb、Taの1種以上で構成され、Ti、Zrが固溶していてもよい)で表されるDion-Jacobson相と呼ばれるペロブスカイト型金属酸化物を形成することができる有機金属塩あるいはアルコキシド塩からなる薄膜又は非晶質薄膜を基板上に形成し、室温から600°Cの温度に保持し、基板上の非晶質薄膜又は有機金属塩あるいはアルコキシド塩からなる薄膜に紫外光を照射しつつ結晶化を行うことによって、基板上にAカチオンが層状に規則配列する層状方向である(001)方向に配向することを特徴とする配向Dion-Jacobsonペロブスカイト型酸化物薄膜の製造方法。
IPC (8件)：
C01G 33/00
, C09K 11/00
, C09K 11/08
, C09K 11/67
, C01G 23/00
, C01G 41/00
, C01G 53/00
, C01G 23/053
C01G33/00 A
, C09K11/00 A
, C09K11/08 B
, C09K11/67
, C01G23/00 C
, C01G41/00 B
, C01G53/00 A
, C01G23/053
4G047CA02
, 4G047CA07
, 4G047CB05
, 4G047CC02
, 4G047CC03
, 4G047CD02
, 4G047CD07
, 4G047CD08
, 4G048AA03
, 4G048AA04
, 4G048AA05
, 4G048AB02
, 4G048AC01
, 4G048AD02
, 4G048AD08
, 4G048AE08
, 4H001CA02
, 4H001CA04
, 4H001CF02
, 4H001XA08
, 4H001XA20
, 4H001XA22
, 4H001XA38
, 4H001XA50
, 4H001XA56
, 4H001YA58
, 4H001YA59
, 4H001YA60
, 4H001YA62
, 4H001YA63
, 4H001YA64
, 4H001YA65
, 4H001YA66
, 4H001YA67
, 4H001YA68
, 4H001YA69
, 4H001YA70
, 4H001YA71
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (8件)
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引用文献：
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