基板収納容器の蓋を開閉する装置、並びに基板の検出方法およびその装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：杉谷勉
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-291979
公開番号（公開出願番号）：特開2002-093883
特許番号：特許第3565810号
出願日： 2001年09月25日
公開日（公表日）： 2002年03月29日
請求項（抜粋）：

【請求項1】基板収納容器から複数枚の基板を取り出す、あるいは基板収納容器に複数枚の基板を収納するために基板収納容器の蓋を開閉する装置であって、基板の取り出し・収納するための開口と、前記開口に取り付けられる蓋とを備え、基板をほぼ水平に収納する基板収納容器を載置する載置部と、前記載置部と、前記基板を前記基板収納容器から取り出して基板に所定の処理を施す処理部とを仕切る隔壁に設けられた通過口を開閉するとともに、前記通過口の開閉時に前記基板収納容器の蓋を保持して前記蓋を開閉するシャッターと、前記シャッターを進退駆動および昇降駆動させるシャッター駆動機構と、前記シャッターに取り付けられ、前記シャッターとともに下降して、前記基板収納容器に収納された基板の有無を検出する検出手段とを備え、前記シャッターを昇降駆動させるシャッター駆動機構は、モータからなり、前記検出手段は、前記モータの回転量を検出して前記シャッターの位置を検出するエンコーダを備えたことを特徴とする基板収納容器の蓋を開閉する装置。

IPC (2件)：

H01L 21/68 , B65G 49/00

FI (4件)：

H01L 21/68 L , H01L 21/68 A , H01L 21/68 T , B65G 49/00 C

引用特許：

審査官引用 (11件)

基板処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-311821 出願人：大日本スクリーン製造株式会社
特開平3-297156
特開昭59-175740

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