特許
J-GLOBAL ID:201103099604854873
ナノ構造及びナノワイヤーの組立方法並びにそれらから組立てられた装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (3件):
伊東 忠彦
, 大貫 進介
, 伊東 忠重
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2010-253763
公開番号(公開出願番号):特開2011-093090
出願日: 2010年11月12日
公開日(公表日): 2011年05月12日
要約:
【課題】なし【解決手段】一次元のナノ構造は、約200nm未満の均一な直径を有する。“ナノワイヤー”と呼ばれる、かかる新規のナノ構造は、異なる化学的な構成を有する少なくとも2つの単結晶の物質のヘテロ構造と同様に、単結晶のホモ構造を含む。単結晶の物質がヘテロ構造を形成するために使用されるので、結果となるヘテロ構造は、同様に単結晶となるであろう。ナノワイヤーのヘテロ構造は、一般的に、異なる物質を含むワイヤーを生成する、ドーピング及び構成が縦若しくは放射方向の何れかで制御されるか、又は両方向で制御される、半導体ワイヤーに基づく。結果となるナノワイヤーのヘテロ構造の例は、縦のヘテロ構造のナノワイヤー(LOHN)及び共軸のヘテロ構造のナノワイヤー(COHN)を含む。【選択図】図3
請求項(抜粋):
組成的に異なる非晶質ではない材料のシースによって少なくとも部分的に囲まれた第一の材料のコア;
を含む、ナノワイヤーにおいて、
前記ナノワイヤーは、ナノワイヤーの集団より選択されたものであるために構成されたものであると共に、前記ナノワイヤーの集団は、50%RMSと比べてより少ないものである実質的に均一なワイヤー間の直径を有するものである;と共に、
前記コア及び前記シースの前記少なくとも一つは、前記コア又はシースの長さにわたって約10%と比べてより多いものまで変動するものではないものである直径を有する、
ナノワイヤー。
IPC (10件):
B82B 1/00
, C30B 29/62
, C01B 19/04
, C01B 21/06
, C01G 9/02
, C01B 33/02
, H01L 29/06
, H01L 29/88
, H01L 31/00
, H01L 33/06
FI (10件):
B82B1/00
, C30B29/62 U
, C01B19/04 A
, C01B21/06 A
, C01G9/02 A
, C01B33/02 Z
, H01L29/06 601N
, H01L29/88 Z
, H01L31/00
, H01L33/00 112
Fターム (35件):
4G047AA02
, 4G047AB01
, 4G047AD04
, 4G072AA01
, 4G072AA02
, 4G072BB04
, 4G072DD05
, 4G072DD06
, 4G072GG01
, 4G072HH04
, 4G072JJ01
, 4G072NN13
, 4G072TT01
, 4G072UU01
, 4G077AA04
, 4G077AB09
, 4G077BA04
, 4G077BA05
, 4G077BB07
, 4G077BE15
, 4G077DB04
, 4G077EB01
, 4G077ED06
, 4G077HA02
, 4G077HA05
, 5F041AA03
, 5F041AA47
, 5F041CA08
, 5F041CA10
, 5F041CA33
, 5F041CA40
, 5F041CA41
, 5F088AB02
, 5F088DA17
, 5F088DA20
引用特許:
引用文献:
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