特許
J-GLOBAL ID：201203004916577040
リソグラフィー用リンス液およびそれを用いたパターン形成方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
勝沼 宏仁
, 中村 行孝
, 横田 修孝
, 伊藤 武泰
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-181305
公開番号（公開出願番号）：特開2012-042531
出願日： 2010年08月13日
公開日（公表日）： 2012年03月01日
要約：
【課題】パターン倒れとメルティングとを同時に改良することができる、リソグラフィー用リンス液とそれを用いたパターン形成方法の提供。【解決手段】アルキルアミンなどの特定の含窒素化合物と水とを含むリソグラフィー用リンス液と、それを用いたパターン形成方法。リンス液は必要に応じて非イオン性界面活性剤を含むこともできる。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
下記一般式(1)〜(3):
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (1件)：
引用特許：
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