特許
J-GLOBAL ID：201203040387168578
蒸着装置並びに蒸着方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
吉井 剛
, 吉井 雅栄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-060964
公開番号（公開出願番号）：特開2012-197468
出願日： 2011年03月18日
公開日（公表日）： 2012年10月18日
要約：
【課題】高精度な蒸着ができ、長時間の連続稼動も可能な蒸着装置並びに蒸着方法の提供。【解決手段】成膜室30において、蒸発源1から蒸発した成膜材料を、蒸着マスク2のマスク開口部を介して基板4上に堆積して、この蒸着マスク2により定められた成膜パターンの蒸着膜が基板4上に形成されるように構成した蒸着装置であって、前記蒸発源1から蒸発した蒸発粒子の飛散方向を制限する制限用開口部5を設けた飛散制限部を有し、前記蒸着マスク2が付設されたマスクホルダー6を備え、この蒸着マスク2が付設された前記マスクホルダー6が前記成膜室30と往来できるロードロック室32、前記マスクホルダー6が前記ロードロック室32と往来できる待機室33及び装置外部に前記マスクホルダー6を取り出し可能な取出し室34を有する交換室31を備えたことを特徴とする蒸着装置。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
成膜室において、蒸発源から蒸発した成膜材料を、蒸着マスクのマスク開口部を介して基板上に堆積して、この蒸着マスクにより定められた成膜パターンの蒸着膜が基板上に形成されるように構成した蒸着装置であって、前記蒸発源とこの蒸発源に対向状態に配設する前記基板との間に、前記蒸発源から蒸発した前記成膜材料の蒸発粒子の飛散方向を制限する制限用開口部を設けた飛散制限部を有するマスクホルダーを配設し、このマスクホルダーに前記基板と離間状態に配設する前記蒸着マスクを付設し、前記基板を、前記蒸着マスクを付設した前記マスクホルダー及び前記蒸発源に対して、前記蒸着マスクとの離間状態を保持したまま相対移動自在に構成し、前記蒸着マスクが付設された前記マスクホルダーが前記成膜室と往来できるロードロック室、前記蒸着マスクが付設された前記マスクホルダーが前記ロードロック室と往来できる待機室及び装置外部に前記蒸着マスクが付設された前記マスクホルダーを取り出し可能な取出し室を有する交換室を備えたことを特徴とする蒸着装置。
IPC (3件)：
C23C 14/24
, H05B 33/10
, H01L 51/50
C23C14/24 G
, C23C14/24 J
, H05B33/10
, H05B33/14 A
3K107AA01
, 3K107BB01
, 3K107CC31
, 3K107CC42
, 3K107CC45
, 3K107GG04
, 3K107GG33
, 3K107GG34
, 3K107GG42
, 3K107GG43
, 3K107GG54
, 4K029AA09
, 4K029AA24
, 4K029BA62
, 4K029BB03
, 4K029CA01
, 4K029DB06
, 4K029DB18
, 4K029HA01
, 4K029KA01
, 4K029KA09
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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