特許
J-GLOBAL ID:201203046272728314

電子放出素子

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 特許業務法人ゆうあい特許事務所
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2011-118109
公開番号(公開出願番号):特開2012-248369
出願日: 2011年05月26日
公開日(公表日): 2012年12月13日
要約:
【課題】ダイヤモンド膜が設けられた雰囲気から酸素を取り除き、水素が離脱したダイヤモンド表面に酸素が吸着しないようにすることができる電子放出素子を提供する。【解決手段】容器4内に容器4内の酸素を取り除くための酸素吸着剤8を設ける。このように容器4内に酸素吸着剤8を設けることにより、容器4内に存在する酸素を酸素吸着剤8に吸着させることができ、容器4内から酸素を除去することができる。このため、エミッタ電極1およびコレクタ電極2を構成するダイヤモンド膜の各表面1a、2aから水素が離脱したとしても、水素が抜けたダングリングボンドに酸素が吸着することを防止することができる。したがって、電子放出の確率の低下、発光効率、電界放出電子の放出確率、熱電子発電の発電効率の低下を防止できる。【選択図】図3
請求項(抜粋):
減圧下の容器(4)内に備えられたダイヤモンド膜(1)から電子放出を行う電子放出素子において、 前記容器(4)内には、当該容器(4)内に存在する酸素を吸着させる酸素吸着剤(8)が設けられていることを特徴とする電子放出素子。
IPC (4件):
H01J 1/304 ,  H01J 31/12 ,  H01L 37/00 ,  H02N 3/00
FI (4件):
H01J1/30 F ,  H01J31/12 C ,  H01L37/00 ,  H02N3/00 A
Fターム (12件):
5C036EE01 ,  5C036EF01 ,  5C036EF06 ,  5C036EG12 ,  5C036EH26 ,  5C135AA09 ,  5C135AB06 ,  5C135AB11 ,  5C135GG10 ,  5C135GG20 ,  5C135HH02 ,  5C135HH08
引用特許:
審査官引用 (15件)
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