特許
J-GLOBAL ID:201203048885553510

ペリクルフレーム、その製造方法、及びペリクル

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 小宮 良雄 ,  大西 浩之
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2011-082844
公開番号(公開出願番号):特開2012-220532
出願日: 2011年04月04日
公開日(公表日): 2012年11月12日
要約:
【課題】炭素繊維に樹脂を含浸させた複合体を利用し、寸法を変更することなく全体の剛性を向上でき、軽量化可能で且つ製造が簡単なペリクルフレームを提供する。【解決手段】ペリクルフレーム10は、長方形形状のペリクルフレーム10の各辺が、長繊維状の炭素繊維と樹脂との複合材料から成る細長材14,20によって形成され、前記炭素繊維は、細長材14,20の長手方向に配向されていることを特徴とする。細長材14,20の全表面は、前記炭素繊維が露出しないように樹脂皮膜で覆われる。【選択図】図1
請求項(抜粋):
多角形形状のペリクルフレームの各辺が、長繊維状の炭素繊維と樹脂との複合材料から成る細長材によって形成され、前記炭素繊維は、前記細長材の長手方向に配向されていることを特徴とするペリクルフレーム。
IPC (2件):
G03F 1/64 ,  B65D 85/86
FI (2件):
G03F1/14 K ,  B65D85/38 R
Fターム (17件):
2H095BC37 ,  2H095BC38 ,  3E096AA01 ,  3E096BA30 ,  3E096BB05 ,  3E096CA01 ,  3E096CB02 ,  3E096DA08 ,  3E096DA11 ,  3E096DB07 ,  3E096EA06X ,  3E096EA06Y ,  3E096EA11X ,  3E096EA11Y ,  3E096FA03 ,  3E096FA20 ,  3E096GA01
引用特許:
審査官引用 (15件)
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