特許

J-GLOBAL ID：201203068955148384

光学顕微鏡、および光学計測

発明者： 小関 泰之 ,  伊東 一良 ,  嶽 文宏 ,  福井 希一 ,  梶山 慎一郎 ,  北川 雄真 ,  西澤 典彦 ,  住村 和彦
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (3件)： 藤元 亮輔 ,  水本 敦也 ,  平山 倫也
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2010059327
公開番号（公開出願番号）：WO2010-140614
出願日： 2010年06月02日
公開日（公表日）： 2010年12月09日
要約：

光源系の複雑化を抑え、レーザーの強度雑音の影響を低減するためなどに変調周波数を高くした場合にも容易に対応できる光学系を備えた光学顕微鏡を得ること。第1の光源により生成された第1の光周波数を有する第1の光パルス列と、前記第1の光パルス列と時間的に同期した、第2の光源により生成された第2の光周波数を有する第2の光パルス列とを試料6に照射し、前記試料6からの散乱光を検出する光学顕微鏡100であって、前記第1の光源が生成する光パルス列の繰り返し周波数が、前記第2の光源が生成する光パルス列の繰り返し周波数の整数分の一である。

請求項（抜粋）：

第1の光源により生成された第1の光周波数を有する第1の光パルス列と、 前記第1の光パルス列と時間的に同期した、第2の光源により生成された第2の光周波数を有する第2の光パルス列とを試料に照射し、 前記試料からの散乱光を検出する光学顕微鏡であって、 前記第1の光源が生成する光パルス列の繰り返し周波数が、前記第2の光源が生成する光パルス列の繰り返し周波数の整数分の一であることを特徴とする光学顕微鏡。

IPC (3件)：

G02B 21/06 ,  G01N 21/65 ,  G02B 21/36

FI (3件)：

G02B21/06 ,  G01N21/65 ,  G02B21/36

Fターム (19件)：

2G043AA03 ,  2G043BA16 ,  2G043EA03 ,  2G043FA02 ,  2G043GA06 ,  2G043GB21 ,  2G043HA01 ,  2G043HA02 ,  2G043JA03 ,  2G043KA01 ,  2G043KA08 ,  2G043KA09 ,  2G043LA01 ,  2G043MA01 ,  2H052AC05 ,  2H052AC14 ,  2H052AC28 ,  2H052AC34 ,  2H052AF14