特許
J-GLOBAL ID:201203083074857993
脆性材料基板のスクライブ方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
鹿島 義雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2010-135477
公開番号(公開出願番号):特開2012-000793
出願日: 2010年06月14日
公開日(公表日): 2012年01月05日
要約:
【課題】 ガラス基板等の脆性材料基板で互いに交差するX-Y方向にスクライブラインを形成する際にノーマルカッターホイールを使用するものでありながら、交点飛びの現象を防止できるスクライブ方法を提供する。【解決手段】 カッターホイールを用いて、脆性材料基板上で転動させることにより、互いに交差するX方向のスクライブラインおよびY方向のスクライブラインを形成するスクライブ方法であって、前記カッターホイールを転動させて、前記基板上にX方向のスクライブラインを形成し、次いでX方向のスクライブラインとY方向のスクライブ予定ラインとが交差する部分にY方向に延びるトリガを形成した後に、Y方向のスクライブ予定ラインに沿って前記カッターホイールを転動させてY方向のスクライブラインを形成する。【選択図】 図4
請求項(抜粋):
カッターホイールを用いて、脆性材料基板上で転動させることにより、互いに交差するX方向のスクライブラインおよびY方向のスクライブラインを形成するスクライブ方法であって、
前記カッターホイールを転動させて、前記基板上にX方向のスクライブラインを形成し、
次いでX方向のスクライブラインとY方向のスクライブ予定ラインとが交差する部分にY方向に延びるトリガを形成した後に、Y方向のスクライブ予定ラインに沿って前記カッターホイールを転動させてY方向のスクライブラインを形成するようにした脆性材料基板のスクライブ方法。
IPC (5件):
B28D 5/00
, C03B 33/023
, B28D 1/24
, G02F 1/13
, G02F 1/133
FI (5件):
B28D5/00 Z
, C03B33/023
, B28D1/24
, G02F1/13 101
, G02F1/1333 500
Fターム (17件):
2H088FA07
, 2H088FA30
, 2H088HA01
, 2H090JA09
, 2H090JB02
, 2H090JC13
, 3C069AA03
, 3C069BA04
, 3C069BB01
, 3C069CA03
, 3C069CA06
, 3C069CA11
, 3C069EA05
, 4G015FA03
, 4G015FB02
, 4G015FC02
, 4G015FC07
引用特許:
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