特許
J-GLOBAL ID：201203088412087734

窓なし研磨パッドおよび保護されたファイバの作成方法およびこれらを有する装置

発明者：
チャン, ジミン

チャン, ジミン について

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デュブースト, アラン

デュブースト, アラン について

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ベネット, ドイル イー.

ベネット, ドイル イー. について


出願人/特許権者：
アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド

アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド について


代理人 (2件)： 園田 吉隆 ,  小林 義教
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-508601
公開番号（公開出願番号）：特表2012-525714
出願日： 2010年04月27日
公開日（公表日）： 2012年10月22日
要約：
研磨システムは、研磨パッドのすべての層を貫通して延びるアパーチャを具備する研磨パッドおよび光学モニタリングシステムの光発生素子または光案内素子の上面上に設置された光透過性膜を含む。
請求項（抜粋）：
研磨パッドを支持するための上表面および前記上表面内にアパーチャを有するプラテンと、 前記プラテンの前記上表面内の前記アパーチャの内部に設置された光発生素子または光案内素子と、 前記研磨パッドの研磨表面からの液体の漏れから前記光発生素子または光案内素子を保護するために、前記光発生素子または光案内素子上の前記アパーチャ内に設置された光透過性膜であって、前記プラテンの側面に接触せずに前記アパーチャ内に収まる光透過性膜と を備えた、研磨システム。
IPC (3件)：
H01L 21/304 ,  B24B 37/013 ,  B24B 37/12
FI (4件)：
H01L21/304 622S ,  H01L21/304 622F ,  B24B37/04 K ,  B24B37/04 S
Fターム (16件)：
3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058BA01 ,  3C058BB02 ,  3C058BC03 ,  3C058CA05 ,  3C058CB03 ,  3C058DA12 ,  3C058DA17 ,  5F057CA11 ,  5F057DA03 ,  5F057EB11 ,  5F057FA01 ,  5F057GA12 ,  5F057GB02 ,  5F057GB13
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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