特許
J-GLOBAL ID：201203090313933784

ノズルの位置調整方法、プログラム、コンピュータ記憶媒体及び塗布処理装置

発明者：
坂本 泰大

坂本 泰大 について

, 
桾本 裕一朗

桾本 裕一朗 について


出願人/特許権者：
東京エレクトロン株式会社

東京エレクトロン株式会社 について


代理人 (3件)： 金本 哲男 ,  亀谷 美明 ,  萩原 康司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-253592
公開番号（公開出願番号）：特開2012-104732
出願日： 2010年11月12日
公開日（公表日）： 2012年05月31日
要約：
【課題】塗布処理装置により基板に対して塗布処理を行うにあたり、塗布液を供給するノズルの位置調整を作業員の熟練度によらず正確で且つ迅速に行う。【解決手段】ウェハに塗布液を供給する塗布液ノズル33の位置調整を行う方法であって、塗布液ノズル33を、ウェハが保持されていない状態のスピンチャック20の中心部の上方に移動させ、その後、スピンチャック20の中心部に対応する吸引口20a及び塗布液ノズル33の先端部をCCDカメラ50、51により撮像し、撮像された画像において、塗布液ノズル33の先端部の中心の水平方向の位置とスピンチャック20の中心部である吸引口20aの水平方向の位置とが一致するように塗布液ノズル33の位置を調整する。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
回転保持部材によって保持された基板上にノズルから塗布液を供給し、前記回転保持部材を回転させることで基板に塗布処理を行う塗布処理装置において、前記ノズルの位置調整を行う方法であって、 前記ノズルを、基板が保持されていない状態の前記回転保持部材の中心部の上方に移動させ、 その後、前記回転保持部材の中心部及び前記ノズルの先端部を撮像手段により撮像し、 前記撮像された画像において、前記ノズルの先端部の中心の水平方向の位置と前記回転保持部材の中心部の水平方向の位置とが一致するように前記ノズルの位置を調整することを特徴とする、ノズルの位置調整方法。
IPC (4件)：
H01L 21/027 ,  B05C 11/08 ,  B05C 11/00 ,  B05D 1/40
FI (4件)：
H01L21/30 564C ,  B05C11/08 ,  B05C11/00 ,  B05D1/40 A
Fターム (29件)：
4D075AC64 ,  4D075AC92 ,  4D075AC93 ,  4D075AC94 ,  4D075BB91Y ,  4D075BB92Z ,  4D075BB95Y ,  4D075CA47 ,  4D075CA48 ,  4D075DA06 ,  4D075DB14 ,  4D075DC22 ,  4D075EA05 ,  4D075EA07 ,  4D075EA21 ,  4D075EA45 ,  4D075EB11 ,  4D075EB31 ,  4D075EC37 ,  4F042AA07 ,  4F042BA08 ,  4F042DH09 ,  4F042EB05 ,  4F042EB09 ,  4F042EB18 ,  5F046JA02 ,  5F046JA04 ,  5F146JA02 ,  5F146JA04
引用特許：
審査官引用 (6件)
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