特許
J-GLOBAL ID：201203095879352748

基板収納容器

発明者：
三村 博

三村 博 について


出願人/特許権者：
信越ポリマー株式会社

信越ポリマー株式会社 について


代理人 (4件)： 藤本 英介 ,  神田 正義 ,  宮尾 明茂 ,  馬場 信幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-044045
公開番号（公開出願番号）：特開2012-182304
出願日： 2011年03月01日
公開日（公表日）： 2012年09月20日
要約：
【課題】ガスケットのコーナ領域におけるシール性が悪化するのを防止し、基板が汚染したり、容器本体と蓋体が接触して発塵するおそれの少ない基板収納容器を提供する。【解決手段】半導体ウェーハを収納可能な容器本体1と、容器本体1の開口した正面2に嵌合される蓋体20と、容器本体1と蓋体20の間に介在されるシール用のガスケット40とを備え、容器本体1の正面内周にガスケット用のシール形成面7を形成し、蓋体20に、ガスケット用の嵌合取付溝25を形成した基板収納容器であり、ガスケット40を、蓋体20の嵌合取付溝25に嵌合される枠体41と、枠体41から突出して容器本体1のシール形成面7に変形接触してシールするリップ片47とから形成し、リップ片47の変形量を枠体41のコーナ領域と他領域とで相違させる。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
基板を収納可能な容器本体と、この容器本体の開口部に着脱自在に嵌め合わされる蓋体と、これら容器本体と蓋体との間に介在されるシール用のガスケットとを備え、容器本体の開口部内周にガスケット用のシール形成面を形成し、蓋体には、ガスケット用の嵌合取付溝を形成した基板収納容器であって、 ガスケットは、蓋体の嵌合取付溝に嵌め合わされる枠体と、この枠体から突出して容器本体のシール形成面に変形接触してシールするリップ片とを含み、このリップ片の変形量を枠体のコーナ領域と他領域とで相違させることにより、容器本体の開口部に蓋体が嵌め合わされた場合に容器本体のシール形成面からガスケットの枠体におけるコーナ領域のリップ片が離れるのを規制するようにしたことを特徴とする基板収納容器。
IPC (3件)：
H01L 21/673 ,  B65D 85/86 ,  B65D 53/02
FI (3件)：
H01L21/68 T ,  B65D85/38 R ,  B65D53/02
Fターム (37件)：
3E084AA05 ,  3E084AA14 ,  3E084AA24 ,  3E084AB10 ,  3E084BA01 ,  3E084CA03 ,  3E084EA01 ,  3E084EB03 ,  3E084FA09 ,  3E084FD20 ,  3E084GB21 ,  3E084HA05 ,  3E084HB04 ,  3E084HC03 ,  3E084HD01 ,  3E084HD04 ,  3E096AA06 ,  3E096BA16 ,  3E096BB04 ,  3E096CA02 ,  3E096CB03 ,  3E096DA17 ,  3E096DB02 ,  3E096EA02Y ,  3E096EA07Y ,  3E096FA03 ,  3E096FA09 ,  3E096FA22 ,  3E096FA31 ,  3E096GA07 ,  5F031CA02 ,  5F031CA07 ,  5F031DA08 ,  5F031EA14 ,  5F031EA19 ,  5F031NA10 ,  5F031PA26
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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