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J-GLOBAL ID：201302243169902598   整理番号：13A0840748

ラジアル型超伝導磁気軸受を適用する光マスク製造用の非接触スピンプロセッサのモデル装置の開発と試験

Development and test of model apparatus of non-contact spin processor for photo mask production applying radial-type superconducting magnetic bearing

著者 (7件)： SAITO Kimiyo (Niigata Univ., Ikarashi Ni-no-cho 8050, Nishi-ku, Niigata 950-2181, JPN) ,  SAITO Kimiyo (MTC Co. Ltd., Higashitakami 2-2-29, Nagaoka-shi, Niigata 940-0006, JPN) ,  FUKUI Satoshi (Niigata Univ., Ikarashi Ni-no-cho 8050, Nishi-ku, Niigata 950-2181, JPN) ,  MAEZAWA Masaru (Niigata Univ., Ikarashi Ni-no-cho 8050, Nishi-ku, Niigata 950-2181, JPN) ,  OGAWA Jun (Niigata Univ., Ikarashi Ni-no-cho 8050, Nishi-ku, Niigata 950-2181, JPN) ,  OKA Tetsuo (Niigata Univ., Ikarashi Ni-no-cho 8050, Nishi-ku, Niigata 950-2181, JPN) ,  SATO Takao (Niigata Univ., Ikarashi Ni-no-cho 8050, Nishi-ku, Niigata 950-2181, JPN)
資料名： Physica C. Superconductivity and Its Applications  (Physica C. Superconductivity and Its Applications)
巻： 484  ページ： 321-324  発行年： 2013年01月15日 
JST資料番号： T0580A  ISSN： 0921-4534  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 半導体デバイスでは,回路素子の集約度を高くするにはウエハの回路パターンの小型化が必要である。したがって,光マスクの微細構造のパター形成にはきわめて高い公差と品質も必要である。光マスクのパターン形成ではスピンプロセッサの機械的軸受から発生するダストの付着がパターン精度を劣化させる主な原因の一つである。今回は,スピンプロセッサにバルク高温超伝導を利用する時期軸受の適用を提案した。ここでは,光マスク製造システムにおける非接触回転過程の試験用スピナーを開発した。この試験用スピナーを使った回転試験から,前回の研究で開発した試験用スピナーに比較して回転能力が改善されたことが分かった。本報はバルク高温超伝導体を持つ磁気軸受を適用した新しい試験スピナーの回転試験を述べた。Copyright 2013 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *超伝導磁石 ,  *磁気軸受 ,  マスク ,  試験 ,  回転 ,  *回転子 ,  高温超伝導体
準シソーラス用語： 非接触

分類 (1件)： 超伝導磁石  (BM04042N)

タイトルに関連する用語 (9件)： 超伝導 ,  磁気軸受 ,  光マスク ,  非接触 ,  スピン ,  プロセッサ ,  モデル ,  開発 ,  試験