特許
J-GLOBAL ID:201303007545733075

ガイド波のLモード・Tモード併用検査方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 堀田 実 ,  野村 俊博
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2011-227914
公開番号(公開出願番号):特開2013-088243
出願日: 2011年10月17日
公開日(公表日): 2013年05月13日
要約:
【課題】ガイド波の発振箇所の近傍を含めた広範囲にわたって検査体を検査することができる検査方法を提供する。【解決手段】Lモードのガイド波を用いて管状または棒状の検査体を検査する第1の検査装置と、Tモードのガイド波を用いて検査体を検査する第2の検査装置とを用意する。第1および第2の検査装置の一方を検査体に組み付けて、該検査装置によりガイド波を発生させてその反射波を検出する。次いで、検査体における一方の検査装置の組み付け箇所において、他方の検査装置を組み付けるように、一方の検査装置を他方の検査装置に換える。その後、他方の検査装置によりガイド波を発生させてその反射波を検出する。【選択図】図4
請求項(抜粋):
管状または棒状の検査体にガイド波を伝播させ、該ガイド波の反射波を検出し、この反射波に基づいて検査体を検査するガイド波を用いた検査方法であって、 (A)伝播方向に振動しながら検査体中を伝播するLモードのガイド波を発生させ、かつ、このガイド波の反射波を検出する第1の検査装置を用意し、 (B)検査体をねじるように振動しながら検査体中を伝播するTモードのガイド波を発生させ、かつ、このガイド波の反射波を検出する第2の検査装置を用意し、 (C)第1および第2の検査装置の一方を検査体に組み付け、該一方の検査装置によりガイド波を発生させてその反射波を検出し、 (D)前記検査体における前記一方の検査装置の組付箇所において、他方の検査装置を組み付けるように、前記一方の検査装置を他方の検査装置に換え、 (E)該他方の検査装置によりガイド波を発生させてその反射波を検出し、 前記Lモードのガイド波により、前記組付箇所の近傍を除いた第1範囲にわたって検査体を検査し、前記Tモードのガイド波により、前記組付箇所の近傍を含む第2範囲にわたって検査体を検査し、第1範囲は、第2範囲と比べて前記組付箇所から遠い検査体の領域を含む、ことを特徴とするガイド波のLモード・Tモード併用検査方法。
IPC (1件):
G01N 29/04
FI (2件):
G01N29/10 501 ,  G01N29/10 502
Fターム (7件):
2G047AA06 ,  2G047AB01 ,  2G047BA03 ,  2G047CB03 ,  2G047EA12 ,  2G047GC01 ,  2G047GC04
引用特許:
審査官引用 (7件)
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