感光性樹脂組成物、パターン硬化膜の製造方法及び電子部品

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：渡辺喜平 , 田中有子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-133428
公開番号（公開出願番号）：特開2013-003310
出願日： 2011年06月15日
公開日（公表日）： 2013年01月07日
要約：

【課題】本発明は、250°C以下で加熱処理を行っても、高い脱水閉環率を示し、優れた耐薬品性及び高温高湿条件下での基板への密着性を有するパターン硬化膜を与える、感光性樹脂組成物を提供するものである。さらに本発明は、該感光性樹脂組成物を用いたパターン硬化膜の製造方法を提供するものである。さらに、本発明は、該パターン硬化膜を用いた層間絶縁膜及び表面保護膜を有することにより、信頼性の高い電子部品を提供することを目的とする。【解決手段】(a)アルカリ可溶性樹脂と、(b)感光剤と、(c)溶剤と、(d)架橋剤と、(e)分子内にリン酸基、ホスホン酸基、又はホスフィン酸基を有し、これら基のリン原子上に少なくとも1つの水酸基を有する化合物と、を含有する感光性樹脂組成物。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

(a)アルカリ可溶性樹脂と、 (b)感光剤と、 (c)溶剤と、 (d)架橋剤と、 (e)分子内にリン酸基、ホスホン酸基、又はホスフィン酸基を有し、これら基のリン原子上に少なくとも1つの水酸基を有する化合物と、を含有する感光性樹脂組成物。

IPC (6件)：

G03F 7/023 , G03F 7/038 , G03F 7/004 , H01L 21/027 , C08G 73/22 , C08G 73/10

FI (6件)：

G03F7/023 , G03F7/038 504 , G03F7/004 501 , H01L21/30 502R , C08G73/22 , C08G73/10

Fターム (46件)：

2H125AE04P , 2H125AE05P , 2H125AE06P , 2H125AE07P , 2H125AF04P , 2H125AF05P , 2H125AM75P , 2H125AM77P , 2H125AN54P , 2H125AN57P , 2H125AN79P , 2H125AN84P , 2H125BA22P , 2H125CA12 , 2H125CB06 , 2H125CC03 , 2H125CC21 , 4J043PA02 , 4J043PA04 , 4J043PA05 , 4J043PA08 , 4J043PC065 , 4J043PC066 , 4J043QB15 , 4J043QB23 , 4J043QB31 , 4J043QB33 , 4J043RA34 , 4J043RA35 , 4J043RA52 , 4J043SA06 , 4J043SA54 , 4J043SA71 , 4J043SB01 , 4J043SB02 , 4J043TA26 , 4J043TB01 , 4J043TB02 , 4J043UA131 , 4J043UA132 , 4J043UB122 , 4J043UB141 , 4J043UB321 , 4J043YA06 , 4J043ZA22 , 4J043ZB50

引用特許：

審査官引用 (9件)

感放射線樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願2008-102991 出願人：日本ゼオン株式会社
ネガ型感光性樹脂組成物、パターンの製造方法及び電子部品
公報種別：公開公報出願番号：特願2007-128554 出願人：日立化成デュポンマイクロシステムズ株式会社
感光性樹脂組成物、該樹脂組成物を用いたパターン硬化膜の製造方法及び電子部品
公報種別：公開公報出願番号：特願2008-266824 出願人：日立化成デュポンマイクロシステムズ株式会社

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