ネガ型感光性樹脂組成物、パターンの製造方法及び電子部品

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：酒井宏明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-128554
公開番号（公開出願番号）：特開2008-281961
出願日： 2007年05月14日
公開日（公表日）： 2008年11月20日
要約：

【課題】220°C以下の低温下の加熱処理でも十分な耐熱性と機械特性を与えるネガ型感光性樹脂組成物、パターンの製造方法及び電子部品を提供する。【解決手段】ネガ型感光性樹脂組成物は、(a)一般式(I)で示される繰り返し単位を有するポリベンゾオキサゾール前駆体と、(b)活性光線照射により酸を発生する化合物と、及び(c)酸の作用により前記(a)成分と架橋あるいは重合し得る化合物とを含有してなる。【化1】(式中、U又はVは二価の有機基を示し、U又はVの少なくとも一方は炭素数1〜30の脂肪族鎖状構造を含む基である。)【選択図】なし

請求項（抜粋）：

(a)一般式(I)で示される繰り返し単位を有するポリベンゾオキサゾール前駆体と、(b)活性光線照射により酸を発生する化合物と、及び(c)酸の作用により前記(a)成分と架橋あるいは重合し得る化合物とを含有してなることを特徴とするネガ型感光性樹脂組成物。

IPC (4件)：

G03F 7/038 , G03F 7/40 , H01L 21/027 , C08G 73/22

FI (4件)：

G03F7/038 601 , G03F7/40 501 , H01L21/30 502R , C08G73/22

Fターム (38件)：

2H025AA03 , 2H025AA10 , 2H025AA13 , 2H025AB16 , 2H025AB17 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025BE00 , 2H025CB26 , 2H025CC20 , 2H025FA17 , 2H096AA25 , 2H096AA27 , 2H096BA06 , 2H096EA02 , 2H096GA09 , 2H096HA01 , 4J043PA02 , 4J043PA04 , 4J043QB15 , 4J043QB23 , 4J043RA05 , 4J043RA06 , 4J043SA05 , 4J043SA71 , 4J043SB01 , 4J043SB02 , 4J043TA26 , 4J043TB01 , 4J043UA121 , 4J043UA131 , 4J043UB021 , 4J043UB061 , 4J043UB121 , 4J043UB122 , 4J043XA19 , 4J043YA10 , 4J043ZB22

引用特許：

出願人引用 (38件)

特開昭49-115541号公報
特開昭61-57620号公報
特開昭59-219330号公報

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審査官引用 (3件)

感光性樹脂組成物、パターンの製造方法及び電子部品
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-152574 出願人：日立化成デュポンマイクロシステムズ株式会社
ネガ型感光性樹脂組成物及びその硬化物
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-061131 出願人：京セラケミカル株式会社
ポリベンゾオキサゾール前駆体樹脂及びそれを用いた感光性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-030672 出願人：住友ベークライト株式会社

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