感光性樹脂組成物、及びこれを用いたフォトレジストフィルム

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：米田圭啓
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-259658
公開番号（公開出願番号）：特開2013-114008
出願日： 2011年11月28日
公開日（公表日）： 2013年06月10日
要約：

【課題】感度、解像度、現像性、密着性、耐めっき性、難燃性及び耐折性に優れ、特に黒色レジストを形成した場合であっても、感度及び密着性に優れたレジストが得られる感光性樹脂組成物、及びこれを用いたフォトレジストフィルムの提供。【解決手段】(A)バインダーポリマー、(B)光重合性化合物、(C)光重合開始剤を含む感光性樹脂組成物において、前記(B) 光重合性化合物として、(B1)一般式(I)で表される化合物を少なくとも含有する感光性樹脂組成物、及びこの感光性樹脂組成物の層が支持体上に形成されたフォトレジストフィルム。【化1】(式中、R1及びR2はそれぞれ独立にH、又はCH3であり、Xは炭素数が1〜6個のアルキレン基であり、a及びbはそれぞれ正の整数であり、かつa及びbの合計は2〜30の整数を示す。また、Yは炭素数が1〜15個の脂肪族炭化水素基、又は炭素数が5〜20個の脂環式炭化水素基を示す。)【選択図】なし

請求項（抜粋）：

(A)バインダーポリマー、(B)光重合性化合物、(C)光重合開始剤を含む感光性樹脂組成物において、前記(B) 光重合性化合物として、(B1)一般式(I)で表される化合物を少なくとも含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。

IPC (7件)：

G03F 7/027 , G03F 7/029 , G03F 7/031 , G03F 7/004 , H05K 3/28 , H05K 3/06 , H05K 3/18

FI (10件)：

G03F7/027 502 , G03F7/029 , G03F7/031 , G03F7/004 501 , G03F7/004 505 , G03F7/004 512 , H05K3/28 D , H05K3/06 J , H05K3/18 D , H05K3/06 H

Fターム (63件)：

2H125AC33 , 2H125AC34 , 2H125AC36 , 2H125AC53 , 2H125AC58 , 2H125AC63 , 2H125AC64 , 2H125AC80 , 2H125AD02 , 2H125AD05 , 2H125AD07 , 2H125AE08P , 2H125AM13P , 2H125AM23P , 2H125AM32P , 2H125AN02P , 2H125AN11P , 2H125AN47P , 2H125AN65P , 2H125AN79P , 2H125AN82P , 2H125AN87P , 2H125AN94P , 2H125AP03P , 2H125AP11P , 2H125BA01P , 2H125BA09P , 2H125BA16P , 2H125BA20P , 2H125BA22P , 2H125BA38P , 2H125CA13 , 2H125CB05 , 2H125CC01 , 2H125CC13 , 5E314AA27 , 5E314AA33 , 5E314AA43 , 5E314AA45 , 5E314CC01 , 5E314CC15 , 5E314DD06 , 5E314FF01 , 5E314GG11 , 5E314GG14 , 5E314GG26 , 5E339AB02 , 5E339BE13 , 5E339CD01 , 5E339CE16 , 5E339CE19 , 5E339CF15 , 5E339DD02 , 5E339GG02 , 5E343AA02 , 5E343AA12 , 5E343BB71 , 5E343DD32 , 5E343ER12 , 5E343ER16 , 5E343ER18 , 5E343GG06 , 5E343GG08

引用特許：

審査官引用 (12件)

ブラックレジスト用感光性樹脂組成物及びカラーフィルター遮光膜
公報種別：公開公報出願番号：特願2009-049446 出願人：新日鐵化学株式会社
感光性イミド系樹脂組成物、絶縁膜およびその形成法
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-156516 出願人：宇部興産株式会社
高性能の光画像形成性樹脂組成物およびそれから作られた印刷版
公報種別：公表公報出願番号：特願2002-577650 出願人：ナツプ・システムズ・インコーポレーテツド

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