特許
J-GLOBAL ID：201303029972129123

回折光学素子とその製造方法、及びレーザー加工方法

発明者：
尼子 淳

尼子 淳 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (4件)： 志賀 正武 ,  佐伯 義文 ,  大浪 一徳 ,  堀内 正優
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-130998
公開番号（公開出願番号）：特開2013-210680
出願日： 2013年06月21日
公開日（公表日）： 2013年10月10日
要約：
【課題】高エネルギーのレーザー光にも耐え得る高強度の反射防止手段を有する回折光学素子を提供すること。【解決手段】本発明に係る回折光学素子は、入射光に対して透明な基板(2)と、複数の凸部(3b)及び凹部(3a)を含み、上記基板の一面側に設けられた回折構造部(3)と、上記複数の凸部の各々よりも小さい複数の微小凸部(4a)を含み、上記回折構造部の上面又は上記基板の他面側の少なくとも何れかに設けられたグリッド部(4)と、を含み、上記回折構造部の断面形状が矩形であり、上記グリッド部が誘電体材料からなる、回折光学素子(1)である。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基板と、 前記基板の一面側に設けられた、複数の凸部を含む回折構造部と、 前記回折構造部の上面又は前記基板の他面の少なくとも何れかに設けられた、前記複数の凸部の各々よりも小さい複数の微小凸部を含むグリッド部と、 を含み、前記回折構造部の断面形状が矩形であり、前記グリッド部が誘電体材料からなる、 回折光学素子。
IPC (3件)：
G02B 5/18 ,  B23K 26/067 ,  B23K 26/06
FI (3件)：
G02B5/18 ,  B23K26/067 ,  B23K26/06 Z
Fターム (16件)：
2H249AA02 ,  2H249AA16 ,  2H249AA55 ,  2H249AA64 ,  2H249AA70 ,  2K009AA01 ,  2K009BB02 ,  2K009BB11 ,  2K009CC21 ,  2K009DD02 ,  2K009DD05 ,  2K009DD06 ,  2K009DD12 ,  4E068AA00 ,  4E068CD04 ,  4E068CD08
引用特許：
審査官引用 (14件)
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