特許
J-GLOBAL ID：201303033712258563
高放射率表面を有するガス分配シャワーヘッド
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
園田 吉隆
, 小林 義教
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-525905
公開番号（公開出願番号）：特表2013-536590
出願日： 2011年06月09日
公開日（公表日）： 2013年09月19日
要約：
本発明の実施形態は、化学気相堆積プロセスにおいて用いられるプロセスチャンバ構成要素に被着される表面コーティングのための方法及び装置を提供する。一実施形態では、その装置は、本体と、本体を貫通して延在する複数のコンジットであって、複数のコンジットはそれぞれ、本体の処理表面まで延在する開口部を有する、複数のコンジットと、処理表面上に配置されるコーティングとを備えるシャワーヘッド装置を提供し、そのコーティングは約50ミクロン〜約200ミクロン厚であり、約0.8の放射率係数と、約180マイクロインチ〜約220マイクロインチの平均表面粗さと、約15%以下の多孔率とを含む。
請求項（抜粋）：
本体と、
前記本体を貫通して延在する複数のコンジットであって、前記複数のコンジットはそれぞれ、前記本体の処理表面まで延在する開口部を有する、複数のコンジットと、
前記処理表面上に配置されるコーティングと
を備え、前記コーティングは、約50ミクロン〜約200ミクロン厚であり、
少なくとも約0.8の放射率係数、
約180マイクロインチ〜約220マイクロインチの平均表面粗さ、及び
約15%以下の多孔率
を含む、シャワーヘッド。
IPC (2件)：
H01L 21/205
, C23C 16/455
4K030AA11
, 4K030AA13
, 4K030BA08
, 4K030BA38
, 4K030BB02
, 4K030CA05
, 4K030CA12
, 4K030EA05
, 4K030FA10
, 4K030GA06
, 4K030KA46
, 4K030KA47
, 4K030LA14
, 5F045AA04
, 5F045AB14
, 5F045AB17
, 5F045AB18
, 5F045CA10
, 5F045CA12
, 5F045DP15
, 5F045DP27
, 5F045EB03
, 5F045EC05
, 5F045EF05
, 5F045EF11
, 5F045EK13
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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引用文献：
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