特許
J-GLOBAL ID：201303050469469099
注入同期式又はMOPA方式のレーザ装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
宇都宮 正明
, 柳瀬 睦肇
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-267158
公開番号（公開出願番号）：特開2002-353545
特許番号：特許第4877692号
出願日： 2001年09月04日
公開日（公表日）： 2002年12月06日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 オシレータ放電によってレーザガスを励起し、波長を狭帯域化したシードレーザ光を発振により生成するオシレータと、
増幅放電によってシードレーザ光を増幅して出射レーザ光を出射する増幅器と、
シードレーザ光の発光から出射レーザ光の発光まで、或いは、オシレータ放電の開始から増幅放電の開始までの遅れ時間を設定する遅延回路と、
シードレーザ光の出力、中心波長又はスペクトル幅を検出する第1のレーザモニタと、
出射レーザ光の出力、中心波長又はスペクトル幅を検出する第2のレーザモニタと、
前記第1のレーザモニタによって検出された出力、中心波長又はスペクトル幅が所定の範囲内にあるか否か、及び、前記第2のレーザモニタによって検出された出力、中心波長又はスペクトル幅が所定の範囲内にあるか否かに基づいて、シードレーザ光と出射レーザ光とが同期しているか否かを判定するレーザコントローラと、
を具備する注入同期式又はMOPA方式のレーザ装置。
IPC (2件)：
H01S 3/134 ( 200 6.01)
, H01S 3/23 ( 200 6.01)
