特許
J-GLOBAL ID：201303052123897054

ダイをウェーハから回収し、ピックアップ位置へ移送する方法及び装置

発明者：
デイビス ピーター

デイビス ピーター について

, 
タラント ディーン

タラント ディーン について


出願人/特許権者：
ユーアイ ホールディング カンパニー

ユーアイ ホールディング カンパニー について


代理人 (1件)： 齋藤 晴男
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-532273
特許番号：特許第4781529号
出願日： 1999年02月17日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 可撓性フィルムに付着する構成要素(105)群を連続してホスト自動ピックアンドプレース装置に移送するための幅狭のフォームファクターのダイフィーダ(100)であって、 前記可撓性フィルムを垂直状態に支持するサポート(110)と; 前記可撓性フィルムに近接するドロップゾーン(173)と; 前記ホスト自動ピックアンドプレース装置がアクセス可能な構成要素ピックアップ位置(176)と; 前記ドロップゾーン(173)と前記構成要素ピックアップ位置(176)との間において、水平に伸びるコンポーネントコンベヤベルト(170)と; 前記コンポーネントコンベヤベルト(170)の進行方向に移動可能かつ当該進行方向の軸回りに回動可能であって、前記可撓性フィルムに近接する前記ドロップゾーン(173)において、前記可撓性フィルム上の構成要素(105)群から選択した構成要素を取外し、かつ、前記選択した構成要素を前記コンポーネントコンベヤベルト(170)上に置くように動作するピックヘッド(150)と; 前記コンポーネントコンベヤ(170)および前記ピックヘッド(150)の動作を独立に制御することで、前記コンポーネントコンベヤ(170)上の複数の前記構成要素を同時に前記構成要素ピックアップ位置(176)に向けて移送しながら、前記可撓性フィルムから取り外した前記構成要素を前記コンポーネントコンベヤ(170)上の所望の位置に置くことを可能とする、前記コンポーネントコンベヤ(170)および前記ピックヘッド(150)を制御する制御ユニット(101)と; から成ることを特徴とする、前記幅狭のフォームファクターのダイフィーダ。
IPC (2件)：
H01L 21/67 ( 200 6.01) ,  B65G 49/07 ( 200 6.01)
FI (2件)：
H01L 21/68 E ,  B65G 49/07 A
引用特許：
審査官引用 (7件)
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