光導波路素子

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：杉村純子 , 田村爾
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-315146
公開番号（公開出願番号）：特開2001-133641
特許番号：特許第4754670号
出願日： 1999年11月05日
公開日（公表日）： 2001年05月18日
請求項（抜粋）：

【請求項1】相対向する一対の主面を有し、電気光学効果を具える材料からなる基板と、この基板の一方の主面側に形成された光導波路と、前記基板の前記一方の主面上に形成され、前記光導波路を導波する光波を制御するための進行波型電極とを具えた光導波路素子であって、前記進行波型電極の厚さは10〜100μmであり、前記進行波型電極の少なくとも一部は、金属層と誘電体層とが交互に積層されると共に、前記金属層と前記誘電体層との周期は1μm〜10μmの厚さであり、1周期に占める金属層の割合は50〜90%となる周期的多層構造であることを特徴とする、光導波路素子。

IPC (2件)：