特許
J-GLOBAL ID:201303075961024828
搬送アーム
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
砂場 哲郎
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-167595
公開番号(公開出願番号):特開2002-362738
特許番号:特許第4757404号
出願日: 2001年06月04日
公開日(公表日): 2002年12月18日
請求項(抜粋):
【請求項1】 第1平行リンクの短節と、第2平行リンクの短節とをベースにて共有して連結し、前記第1平行リンクのアーム端に付与された旋回動作により、前記第2平行リンクの自由端に設けられた搬送台を、前記第1平行リンクのアームと第2平行リンクのアームのなす角度を変化させて所定の軌跡で移動させるようにした搬送アームにおいて、
前記第1平行リンクと第2平行リンクとの間のベース上に、前記共有された短節に直交する方向にガイドレールを有するリニアガイドと、
前記ガイドレール上を走行するスライダと前記短節両端で前記第1平行リンクと第2平行リンクのアーム端を軸支する関節軸との間を前記リニアガイドに関して対称にそれぞれ連結する、屈伸可能なレバー群で構成した同期リンクとを備え、
前記第1平行リンクのアームと第2平行リンクのアームとが前記同期リンクのレバー部材の屈伸動作を介して前記リニアガイドに関して等角度で開閉するようにしたことを特徴とする搬送アーム。
IPC (3件):
B65G 49/07 ( 200 6.01)
, B25J 9/06 ( 200 6.01)
, H01L 21/677 ( 200 6.01)
FI (3件):
B65G 49/07 C
, B25J 9/06 D
, H01L 21/68 A
引用特許:
出願人引用 (6件)
-
搬送用ロボット
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-064405
出願人:株式会社小松製作所
-
複数軸動力伝達装置およびウエハ搬送用アームリンク
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-217135
出願人:有限会社ビーケーエスラボ
-
搬送装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-343585
出願人:東京エレクトロン株式会社
-
ロボットアーム装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-004275
出願人:富士通株式会社
-
ロボットア-ム及びその駆動装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-065676
出願人:帝人製機株式会社
-
搬送アーム
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-364370
出願人:株式会社ジェーイーエル
全件表示
審査官引用 (6件)
-
搬送用ロボット
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-064405
出願人:株式会社小松製作所
-
複数軸動力伝達装置およびウエハ搬送用アームリンク
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-217135
出願人:有限会社ビーケーエスラボ
-
搬送装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-343585
出願人:東京エレクトロン株式会社
-
ロボットアーム装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-004275
出願人:富士通株式会社
-
ロボットア-ム及びその駆動装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-065676
出願人:帝人製機株式会社
-
搬送アーム
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-364370
出願人:株式会社ジェーイーエル
全件表示
前のページに戻る