特許
J-GLOBAL ID:201303082723404180
微細気泡生成装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
松阪 正弘
, 田中 勉
, 井田 正道
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-011255
公開番号(公開出願番号):特開2013-146714
出願日: 2012年01月23日
公開日(公表日): 2013年08月01日
要約:
【課題】微細気泡を含み、かつ、パーティクルが除去された液体を生成する。【解決手段】微細気泡生成装置1は、気体を加圧溶解させた加圧液を生成する加圧液生成部3と、加圧液生成部3からの加圧液71が流れる加圧液流路4と、通過後の加圧液71が減圧されることにより、加圧液71中に微細気泡を発生させる微細気泡生成ノズル2と、加圧液生成部3と微細気泡生成ノズル2との間に配置され、加圧液71中のパーティクルを除去するフィルタ5とを備える。フィルタ5が除去可能なパーティクルの最小径は、加圧液71に発生する微細気泡の直径の最頻値よりも小さい。フィルタ5を通過後に加圧液71中に微細気泡を発生させるため、微細気泡がフィルタ5に捕獲されることはなく、微細気泡を含み、かつ、パーティクルが除去さた液体を生成することが実現される。【選択図】図1
請求項(抜粋):
微細気泡生成装置であって、
気体を加圧溶解させた加圧液を生成する加圧液生成部と、
前記加圧液生成部からの加圧液が流れる加圧液流路と、
前記加圧液流路に設けられ、通過後の加圧液が減圧されることにより、前記加圧液中に微細気泡を発生させる絞り部と、
前記加圧液生成部と前記絞り部との間に配置され、前記加圧液中のパーティクルを除去するフィルタと、
を備えることを特徴とする微細気泡生成装置。
IPC (6件):
B01F 5/04
, B01F 3/04
, B01F 1/00
, B01D 36/02
, B01F 5/02
, B01F 15/00
FI (7件):
B01F5/04
, B01F3/04 Z
, B01F1/00 A
, B01D36/02
, B01F3/04 F
, B01F5/02 A
, B01F15/00 Z
Fターム (10件):
4D066AA05
, 4D066BB01
, 4G035AA01
, 4G035AB15
, 4G035AB20
, 4G035AC15
, 4G035AC22
, 4G035AE19
, 4G037DA30
, 4G037EA01
引用特許:
審査官引用 (12件)
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処理装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2009-228892
出願人:芝浦メカトロニクス株式会社
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微細気泡発生器および微細気泡供給システム
公報種別:公開公報
出願番号:特願2006-336790
出願人:株式会社マルコム
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接液部材の洗浄方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-185709
出願人:栗田工業株式会社
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基板処理装置および基板処理方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2006-261994
出願人:大日本スクリーン製造株式会社
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気液加圧混合装置とこれを用いた廃液等の処理装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-350088
出願人:和泉電気株式会社
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気泡発生浴槽の気液溶解タンク
公報種別:公開公報
出願番号:特願2004-087799
出願人:松下電工株式会社
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オゾン水製造装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-368752
出願人:株式会社ササクラ
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流体混合装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2001-359056
出願人:日本テキサス・インスツルメンツ株式会社, 野村マイクロ・サイエンス株式会社
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マルチストレーナ
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-247464
出願人:石川島播磨重工業株式会社
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ウエットエッチング処理装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-205015
出願人:松下電子工業株式会社
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特公平6-093991
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特公平6-093991
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