特許
J-GLOBAL ID:201303084941201846
パワーモジュール、及び、パワーモジュールの製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (4件):
志賀 正武
, 高橋 詔男
, 増井 裕士
, 細川 文広
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-011140
公開番号(公開出願番号):特開2013-012706
出願日: 2012年01月23日
公開日(公表日): 2013年01月17日
要約:
【課題】回路層の一方の面に半導体素子が確実に接合され、熱サイクル及びパワーサイクル信頼性に優れたパワーモジュール及びパワーモジュールの製造方法を提供する。【解決手段】絶縁層11の一方の面に回路層12が配設されたパワーモジュール用基板10と、回路層12上に搭載される半導体素子3と、を備えたパワーモジュール1であって、回路層12の一方の面には、ガラス成分を含有するガラス含有Agペーストの焼成体からなる第1焼成層31が形成されており、この第1焼成層31の上に、酸化銀が還元されたAgの焼成体からなる第2焼成層38が形成されていることを特徴とする。【選択図】図1
請求項(抜粋):
絶縁層の一方の面に回路層が配設されたパワーモジュール用基板と、前記回路層上に搭載される半導体素子と、を備えたパワーモジュールであって、
前記回路層の一方の面には、ガラス成分を含有するガラス含有Agペーストの焼成体からなる第1焼成層が形成されており、
この第1焼成層の上に、酸化銀が還元されたAgの焼成体からなる第2焼成層が形成されていることを特徴とするパワーモジュール。
IPC (7件):
H01L 23/40
, H01L 23/12
, H01L 23/15
, H01L 25/07
, H01L 25/18
, H05K 7/20
, H01L 21/52
FI (6件):
H01L23/40 F
, H01L23/12 Q
, H01L23/14 C
, H01L25/04 C
, H05K7/20 N
, H01L21/52 B
Fターム (18件):
5E322AA01
, 5E322AA05
, 5E322AB02
, 5E322FA01
, 5F047AA17
, 5F047BA15
, 5F047BA53
, 5F047BB11
, 5F047BB16
, 5F136BB04
, 5F136DA27
, 5F136FA14
, 5F136FA16
, 5F136FA18
, 5F136FA62
, 5F136FA63
, 5F136FA65
, 5F136GA40
引用特許:
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (4件)