特許
J-GLOBAL ID：201303091921348456
酸化ガリウム単結晶、及び、酸化ガリウム単結晶基板
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-098402
公開番号（公開出願番号）：特開2013-227160
出願日： 2012年04月24日
公開日（公表日）： 2013年11月07日
要約：
【課題】原料の無駄を大幅に改善することができる酸化ガリウム単結晶、及び、酸化ガリウム単結晶基板を提供する。【解決手段】酸化ガリウム単結晶13は、双晶14を1〜70%含んでいる。酸化ガリウム単結晶13は、EFG法によって製造されている。双晶14は、その引上げ方向に沿って帯状に形成されている。酸化ガリウム単結晶基板は、酸化ガリウム単結晶13からなる。酸化ガリウム単結晶基板は、表面にCMP加工が施され、結晶面ごとの研磨加工レート差によって、幅が3〜10μmの範囲で揃った凹凸を持ったストライプ状に形成されている。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
双晶を1〜70%含む、ことを特徴とする酸化ガリウム単結晶。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (6件)：
4G077AA02
, 4G077BB10
, 4G077CF03
, 4G077FG17
, 4G077HA12
, 4G077PK03
