基板収納容器

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：坂本智弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-264949
公開番号（公開出願番号）：特開2013-118278
出願日： 2011年12月02日
公開日（公表日）： 2013年06月13日
要約：

【課題】基板収納容器の内部の気体を置換するときに、基板収納容器の内部から気体が特定箇所から漏れるようにして、効率良く気体を置換可能な基板収納容器を提供する。【解決手段】精密基板を収納する、底面にガスパージ用の開閉弁を備えた容器本体と、精密基板を容器本体に出し入れするための、容器本体の底面の片端部に底辺を有する矩形状の開口部と、開口部を開閉する蓋体と、開口部と蓋体の間に介在する弾性変形可能な矩形状のシール部材と、を備え、基板収納容器に外部から気体を供給し内部にあった気体を置換させるときに、シールガスケットの枠体の少なくとも頂辺部及び底部から、気体が漏れ出すように、シールガスケットのつぶし量を制御したことを特徴とする基板収納容器。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

精密基板を収納する、底面にガスパージ用の開閉弁を備えた容器本体と、前記精密基板を前記容器本体に出し入れするための、前記容器本体の前記底面の片端部に底辺を有する矩形状の開口部と、前記開口部を開閉する蓋体と、前記開口部と前記蓋体の間に介在する弾性変形可能な矩形状のシール部材と、を備え、前記シール部材は、前記容器本体の前記開口部内周又は前記蓋体外周のいずれか一方に全周にわたって切り欠き形成された嵌合保持部に嵌合される基体部と、当該基体部から外周外方向に斜めに伸びる屈曲可能な突片と、前記基体部の1面に突出形成されて前記嵌合保持部の内面に圧力作用状態で接触する嵌合リブとを含み、矩形状の前記シール部材の横方向辺における前記突片のつぶし量を1としたとき、前記シール部材の側辺における前記突片のつぶし量比率を1.3以上に形成することを特徴とする基板収納容器。

IPC (3件)：

H01L 21/673 , B65D 85/86 , B65D 53/02

FI (3件)：

H01L21/68 T , B65D85/38 R , B65D53/02

Fターム (29件)：

3E084AA05 , 3E084BA01 , 3E084CA03 , 3E084CB03 , 3E084FD20 , 3E084GA08 , 3E084GB12 , 3E084GB26 , 3E084HA05 , 3E084HB04 , 3E096AA06 , 3E096BA16 , 3E096BB04 , 3E096CA02 , 3E096CA08 , 3E096CB03 , 3E096DA17 , 3E096DA26 , 3E096DC02 , 3E096EA02X , 3E096EA07Y , 3E096FA40 , 3E096GA07 , 5F031CA02 , 5F031DA08 , 5F031EA12 , 5F031EA14 , 5F031EA18 , 5F031NA04

引用特許：

出願人引用 (7件)

ウェーハケース
公報種別：公開公報出願番号：特願2009-117398 出願人：株式会社SUMCO, 有限会社コスモエンジニアリング
精密基板収納容器
公報種別：公開公報出願番号：特願2008-302611 出願人：信越ポリマー株式会社
精密基板収納容器
公報種別：公開公報出願番号：特願2008-124643 出願人：株式会社ゴールドエイト

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審査官引用 (7件)

精密基板収納容器
公報種別：公開公報出願番号：特願2008-124643 出願人：株式会社ゴールドエイト
精密基板収納容器
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-366763 出願人：信越ポリマー株式会社
コンテナの搬送システム及び測定用コンテナ
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-345409 出願人：アシストテクノロジーズジャパン株式会社

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