特許
J-GLOBAL ID：201303098529924630

検査装置、検査方法及び基板の製造方法

発明者：
吉田 義道

吉田 義道 について


出願人/特許権者：
ソニー株式会社

ソニー株式会社 について


代理人 (6件)： 大森 純一 ,  折居 章 ,  中村 哲平 ,  吉田 望 ,  金子 彩子 ,  金山 慎太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-019124
公開番号（公開出願番号）：特開2013-157568
出願日： 2012年01月31日
公開日（公表日）： 2013年08月15日
要約：
【課題】複数の検査ヘッドがそれぞれ有する各照明部から照射された光が、他の検査ヘッドの検査領域に照射されてしまうこと(照明干渉)を防止することができる技術を提供すること。【解決手段】本技術に係る検査装置は、第1の検査ヘッド及び第2の検査ヘッドと、遮蔽部とを具備する。前記第1の検査ヘッド及び前記第2の検査ヘッドは、検査対象物に光を照射する照明部と、前記照明部によって光が照射された前記検査対象物を検査領域内で撮像する撮像部とをそれぞれ有する。前記遮蔽部は、前記第1の検査ヘッド及び前記第2の検査ヘッドの間に配置され、前記第1の検査ヘッド及び前記第2の検査ヘッドがそれぞれ有する各照射部から照射された光が、他の検査ヘッドの検査領域に照射されないように、前記光を遮蔽する。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
検査対象物に光を照射する照明部と、前記照明部によって光が照射された前記検査対象物を検査領域内で撮像する撮像部とをそれぞれ有する第1の検査ヘッド及び第2の検査ヘッドと、 前記第1の検査ヘッド及び前記第2の検査ヘッドの間に配置され、前記第1の検査ヘッド及び前記第2の検査ヘッドがそれぞれ有する各照射部から照射された光が、他の検査ヘッドの検査領域に照射されないように、前記光を遮蔽する遮蔽部と を具備する検査装置。
IPC (3件)：
H05K 3/34 ,  G01N 21/956 ,  H05K 13/04
FI (3件)：
H05K3/34 512B ,  G01N21/956 Z ,  H05K13/04 Z
Fターム (31件)：
2G051AA65 ,  2G051AA73 ,  2G051AA84 ,  2G051AC15 ,  2G051BA01 ,  2G051BA10 ,  2G051BB09 ,  2G051CA04 ,  2G051CA07 ,  2G051CB01 ,  2G051CC09 ,  2G051DA07 ,  5E313AA02 ,  5E313AA11 ,  5E313CC04 ,  5E313DD12 ,  5E313EE02 ,  5E313EE03 ,  5E313FG01 ,  5E313FG10 ,  5E319AA01 ,  5E319AA03 ,  5E319AC01 ,  5E319AC04 ,  5E319BB05 ,  5E319CC22 ,  5E319CD35 ,  5E319CD51 ,  5E319CD52 ,  5E319CD53 ,  5E319GG15
引用特許：
審査官引用 (7件)
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