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J-GLOBAL ID：201402299145944098   整理番号：14A0572490

真空紫外波長領域における発光分光装置の研究室内感度較正

In-laboratory sensitivity calibration of an optical emission spectroscopy system in vacuum ultraviolet wavelength range

著者 (3件)： SOMA Shuntaro (Hokkaido Univ., Sapporo, JPN) ,  KURIHARA Kazuaki (Toshiba Corp., Kawasaki, JPN) ,  SASAKI Koichi (Hokkaido Univ., Sapporo, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics  (Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 53  号： 4  ページ： 048001.1-048001.3  発行年： 2014年04月 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 格子モノクロメータと二次電子増倍管からなる発光分光装置の相対感度の波長依存性を真空紫外波長領域で珪素フォトダイオードの較正済感度に基づいて較正した。実験結果は波長80~160nmで感度の有意な波長依存性を示した。水素原子のLyman線とBalmer線における分岐比技術を用いて検量線を評価した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *スペクトロメータ ,  *キャリブレーション ,  フォトダイオード ,  波長依存性 ,  感度 ,  *検量線 ,  真空紫外線 ,  感度較正
準シソーラス用語： *較正 ,  相対感度

分類 (1件)： 分光法と分光計一般  (BD07041Q)

引用文献 (17件)：

• B. Jinnai, T. Nozawa, and S. Samukawa, J. Vac. Sci. Technol. B 26, 1926 (2008).
• B. Jinnai, S. Fukuda, H. Ohtake, and S. Samukawa, J. Appl. Phys. 107, 043302 (2010).
• S. Uchida, S. Takashima, M. Hori, M. Fukasawa, K. Ohshima, K. Nagahata, and T. Tatsumi, J. Appl. Phys. 103, 073303 (2008).
• J. R. Woodworth, M. G. Blain, R. L. Jarecki, T. W. Hamilton, and B. P. Aragon, J. Vac. Sci. Technol. A 17, 3209 (1999).
• J. R. Woodworth, M. E. Riley, V. A. Amatucci, T. W. Hamilton, and B. P. Aragon, J. Vac. Sci. Technol. A 19, 45 (2001).

タイトルに関連する用語 (4件)： 波長領域 ,  発光分光 ,  研究 ,  感度較正