特許
J-GLOBAL ID：201403000167242818

ハンダボール印刷機およびハンダボール印刷方法

発明者：
五十嵐 章雄

五十嵐 章雄 について

, 
栗原 弘邦

栗原 弘邦 について

, 
水鳥 量介

水鳥 量介 について


出願人/特許権者：
株式会社日立製作所

株式会社日立製作所 について


代理人 (1件)： ポレール特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-051692
公開番号（公開出願番号）：特開2014-179424
出願日： 2013年03月14日
公開日（公表日）： 2014年09月25日
要約：
【課題】 ハンダボール印刷機において、基板の平面精度を保つとともに、マスクと基板の隙間を精度よく保持して、ハンダボールの位置ずれを発生させることなく、確実に精度よく基板上のパッド(電極部)にボールを搭載する。【解決手段】 ハンダボール印刷機20は、スキージ3を用いて、マスク1に形成された複数の開口1aにハンダボール18を嵌入して、マスクに対向する基板2の表面に形成された複数の電極部19にハンダボールを印刷する。基板を搭載し背面側に複数の穴部4aが形成された基板載置テーブル6と、この基板載置テーブルを搭載した印刷テーブル12と、印刷テーブルを水平面内で駆動可能なXYθステージ13および上下動駆動可能な印刷テーブル用シリンダ14と、基板搭載テーブルに嵌合可能な部材を有するマスク吸着部11と、このマスク吸着部を上下動駆動可能なマスク吸着用シリンダ10とを備える。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
スキージを用いて、マスクに形成された複数の開口にハンダボールを嵌入して前記マスクに対向する基板の表面に形成された複数の電極部に前記ハンダボールを搭載するハンダボール印刷機において、 前記基板を搭載し背面側に複数の穴部が形成された基板載置テーブルと、この基板載置テーブルを搭載したテーブルを水平面内で駆動可能なXYθステージおよび上下動駆動可能な第1の上下動駆動手段と、前記基板搭載テーブルの背面に形成した複数の穴部の各々に嵌合可能な永久磁石を含む部材を有するマスク吸着部と、このマスク吸着部を上下動駆動可能であって前記基板載置テーブルの下部に配設された第2の上下動駆動手段とを備え、前記第1の上下駆動手段と前記第2の上下動駆動手段を独立に駆動可能としたことを特徴とするハンダボール印刷機。
IPC (2件)：
H01L 21/60 ,  H05K 3/34
FI (2件)：
H01L21/92 604H ,  H05K3/34 505A
Fターム (5件)：
5E319AA03 ,  5E319AC02 ,  5E319BB04 ,  5E319CC33 ,  5E319GG09
引用特許：
出願人引用 (6件)
全件表示
審査官引用 (2件)
  • ボール搭載装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-403042   出願人：アスリートFA株式会社
  • マスク成膜方法,マスク
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-001153   出願人：セイコーエプソン株式会社

前のページに戻る

TOP

BOTTOM