特許
J-GLOBAL ID：201403013367561629
蒸着装置およびこれを用いた蒸着量測定方法
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
八田国際特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-153759
公開番号（公開出願番号）：特開2014-031581
出願日： 2013年07月24日
公開日（公表日）： 2014年02月20日
要約：
【課題】複数の蒸着源の蒸着量を均一に調整することができる蒸着装置を提供する。また、1つのテスト用基板を用いて問題のある蒸着源を正確に把握できる蒸着量測定方法を提供する。【解決手段】本発明にかかる蒸着装置は、蒸着物質を噴射する複数の蒸着源と、蒸着源に対向するように基板を固定させる基板固定部と、蒸着源の一側に配置され、各蒸着源の入口を開閉できる蒸着源シャッタと、蒸着源と基板固定部に固定された基板との間に配置され、蒸着物質の一部が貫通して基板に蒸着できるように構成されたメインシャッタとを含む。本発明の実施形態によれば、効率的に問題のある蒸着源を把握し、複数の蒸着源の蒸着量を均一に調整することができる。また、問題のある蒸着源を正確に把握することにより、材料の損失を低減させることができる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
蒸着物質を噴射する複数の蒸着源と、
前記蒸着源に対向するように基板を固定させる基板固定部と、
前記蒸着源の一側に配置され、前記各蒸着源の入口を開閉できる蒸着源シャッタと、
前記蒸着源と前記基板固定部に固定された前記基板との間に配置され、前記蒸着物質の一部が貫通して前記基板に蒸着できるように構成されたメインシャッタとを含むことを特徴とする蒸着装置。
IPC (3件)：
C23C 14/24
, H05B 33/10
, H01L 51/50
C23C14/24 G
, C23C14/24 U
, H05B33/10
, H05B33/14 A
3K107AA01
, 3K107BB01
, 3K107CC45
, 3K107GG04
, 3K107GG32
, 3K107GG34
, 4K029AA24
, 4K029BA31
, 4K029BA62
, 4K029CA01
, 4K029DA13
, 4K029DB05
, 4K029DB06
, 4K029DB14
, 4K029DB18
, 4K029EA02
出願人引用 (6件)
全件表示
審査官引用 (6件)
全件表示
前のページに戻る
