特許
J-GLOBAL ID：201403016641479631
低電圧プラズマ発生用電極
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人太田特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-101254
公開番号（公開出願番号）：特開2013-258137
出願日： 2013年05月13日
公開日（公表日）： 2013年12月26日
要約：
【課題】可撓性を有する電極構造とし、プラズマ活性種被処理物との接触の効率を向上させ、これによって被処理物の処理効率を向上させるような構造のプラズマ発生用電極を提供する。【解決手段】低電圧でプラズマを発生させるための電極10であって、可撓性を有する基板11と、基板の一方の面に設けられている第1電極12と、この基板上の表面と同じ面又は反対面に積層された第2電極13と、を備え、第1電極が露出しないようにその上に表保護層14を覆設し、第1電極から基板に沿ってプラズマを発生させるようにした。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
低電圧でプラズマを発生させるための電極であって、
可撓性を有する基板と、
前記基板の一方の面に設けられている第1電極と、
この基板上の表面と同じ面又は反対面に積層された第2電極と、
を備え、
前記第1電極が露出しないようにその上に表保護層を覆設し、
第1電極から基板に沿ってプラズマを発生させるようにしたことを特徴とする低電圧プラズマ発生用電極。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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