特許
J-GLOBAL ID：201403024842226874
レーザ加工装置および曲率可変反射鏡ユニット
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
大岩 増雄
, 竹中 岑生
, 村上 啓吾
, 吉澤 憲治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-007031
公開番号（公開出願番号）：特開2014-137528
出願日： 2013年01月18日
公開日（公表日）： 2014年07月28日
要約：
【課題】焦点距離やビーム径、あるいはビームモードの調整に利用する曲率可変反射鏡を簡単な構成で実現することを目的としている。【解決手段】レーザビームを出力するレーザ発振器と、レーザ発振器から出力されたレーザビームが入射し、反射面の裏側には中空室が、側面には2箇所の相対向する加圧部が設けられている反射鏡と、中空室に供給する媒体の圧力の大きさと2箇所の相対向する加圧部に印加する荷重の大きさを選定する制御部と、制御部で選定された圧力の大きさに調整された媒体を中空室に供給する圧力調整部と、制御部で選定された大きさの荷重を2箇所の相対向する加圧部に印加する荷重供給部と、を備えているレーザ加工装置。【選択図】図8
請求項（抜粋）：
レーザビームを出力するレーザ発振器と、
前記レーザ発振器から出力されたレーザビームが入射し、反射面の裏側には中空室が、側面には2箇所の相対向する加圧部が、設けられている反射鏡と、
前記中空室に供給する媒体の圧力の大きさと前記2箇所の相対向する加圧部に印加する荷重の大きさを選定する制御部と、
前記制御部で選定された圧力の大きさに調整された前記媒体を前記中空室に供給する圧力調整部と、
前記制御部で選定された大きさの荷重を前記2箇所の相対向する加圧部に印加する荷重供給部と、を備えているレーザ加工装置。
IPC (4件)：
G02B 5/10
, B23K 26/00
, B23K 26/04
, G02B 26/00
G02B5/10 B
, B23K26/00 M
, B23K26/04 Z
, G02B26/00
2H042DD12
, 2H042DE07
, 2H141MA27
, 2H141MB27
, 2H141MB56
, 2H141MC02
, 2H141ME01
, 2H141ME25
, 2H141MF11
, 2H141MF21
, 2H141MF28
, 2H141MG05
, 4E068CA11
, 4E068CB06
, 4E068CC03
, 4E068CD01
, 4E068CD05
, 4E068CD11
