赤外光学膜、円偏光ミラー、円偏光ミラーを備えたレーザ加工機、および赤外光学膜の製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：大岩増雄 , 竹中岑生 , 村上啓吾 , 吉澤憲治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-106792
公開番号（公開出願番号）：特開2014-228611
出願日： 2013年05月21日
公開日（公表日）： 2014年12月08日
要約：

【課題】光学性能を大きく低下させることなく、耐熱性を強化した赤外光学膜を提供する。【解決手段】基板上に形成された光学反射膜を覆うように形成された赤外光学膜であって、ZnSまたはZnSeで形成された第一の高屈折層と、この第一の高屈折層の材料よりも屈折率が小さい材料のフッ化物で形成された第一の低屈折層とを交互に配置した層構成の第一の多層群と、この第一の多層群よりも光学反射膜側に位置し、Geで形成された第二の高屈折層とZnSまたはZnSeで形成された第二の低屈折層とを、光学反射膜と接する層が第二の低屈折層となり、第一の多層群に接する層が第二の高屈折層となるよう交互に配置した層構成の第二の多層群とを有し、第一の多層群は、第一の低屈折層が前記第二の多層群に接する層となるよう形成した。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板上に形成された光学反射膜を覆うように形成された赤外光学膜であって、ZnSまたはZnSeで形成された第一の高屈折層と、この第一の高屈折層の材料よりも屈折率が小さい材料のフッ化物で形成された第一の低屈折層とを交互に配置した層構成の第一の多層群と、この第一の多層群よりも前記光学反射膜側に位置し、Geで形成された第二の高屈折層とZnSまたはZnSeで形成された第二の低屈折層とを、前記光学反射膜と接する層が前記第二の低屈折層となり、前記第一の多層群に接する層が前記第二の高屈折層となるよう交互に配置した層構成の第二の多層群とを有し、前記第一の多層群は、前記第一の低屈折層が前記第二の多層群に接する層となるよう形成されていることを特徴とする赤外光学膜。

IPC (2件)：

G02B 5/30 , G02B 5/08

FI (2件)：

G02B5/30 , G02B5/08 A

Fターム (13件)：

2H042DA05 , 2H042DA09 , 2H042DA10 , 2H042DA14 , 2H042DA18 , 2H042DB02 , 2H042DB06 , 2H042DC02 , 2H042DE07 , 2H149AA00 , 2H149AB13 , 2H149DA04 , 2H149FA41Y

引用特許：

出願人引用 (8件)

レーザ加工装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2007-078938 出願人：三菱電機株式会社
赤外反射防止膜
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-203545 出願人：株式会社トプコン
誘電体コーティングされたミラー
公報種別：公表公報出願番号：特願2013-511684 出願人：カールツァイスレーザーオプティクスゲーエムベーハー

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審査官引用 (8件)

レーザ加工装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2007-078938 出願人：三菱電機株式会社
赤外反射防止膜
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-203545 出願人：株式会社トプコン
誘電体コーティングされたミラー
公報種別：公表公報出願番号：特願2013-511684 出願人：カールツァイスレーザーオプティクスゲーエムベーハー

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