誘電体コーティングされたミラー

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：杉村憲司 , 下地健一 , 坪内伸
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-511684
公開番号（公開出願番号）：特表2013-529318
出願日： 2011年05月26日
公開日（公表日）： 2013年07月18日
要約：

[誘電体コーティングを有するミラー]基板(3)上に誘電体コーティング(2)を有し、エタロンへの利用が提案されるミラーであって、誘電体コーティング(2)は、基板上に高屈折率酸化物層(41)および低屈折率酸化物層(42)が交互に配置される第1積層(4)と、該第1積層(4)の上にフッ化物層(52)および酸化物層(51)が交互に配置された第2の積層(5)との、ちょうど2つの積層を有し、フッ化物層(52)の層数が誘電体コーティング(2)の全層数に対する割合として、0.45未満である。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板(3)上に、誘電体コーティング(2)を有するミラーであって、前記誘電体コーティング(2)は、ちょうど2つの積層(4、5)であって、前記基板上に高屈折率酸化物層(41)および低屈折率酸化物層(42)が交互に配置される第1積層(4)と、該第1積層(4)の上にフッ化物層(52、512、502、523)および酸化物層(51、511、501、521、522)が交互に配置される第2積層(5、5A、5B、5C)とを有し、フッ化物層(52、512、502、523)の層数が、前記誘電体コーティング(2)の全層数に対する割合として、0.45未満であるミラー。

IPC (1件)：

G02B 5/08

FI (1件)：

G02B5/08 A

Fターム (9件)：

2H042DA08 , 2H042DA12 , 2H042DB02 , 2H042DC02 , 2H042DD00 , 2H042DE07 , 2H048FA05 , 2H048FA18 , 2H048FA24

引用特許：

審査官引用 (12件)

特開平3-012605
特開平2-182447
ミラー及び照明光学装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-068853 出願人：株式会社ニコン

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