特許
J-GLOBAL ID：201403030147051761
加工方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松本 昂
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-103275
公開番号（公開出願番号）：特開2014-225519
出願日： 2013年05月15日
公開日（公表日）： 2014年12月04日
要約：
【課題】生産性の高い加工方法を提供する。【解決手段】被加工物(2)の加工方法であって、被加工物の表面(2a)に水溶性保護膜(36)を形成する水溶性保護膜形成ステップと、水溶性保護膜形成ステップを実施した後、被加工物の表面にレーザービーム(42)を照射してレーザー加工溝(44)を形成するレーザー加工ステップと、レーザー加工ステップを実施した後、切削ブレード(48)に切削水を供給しつつ、水溶性保護膜が形成された被加工物のレーザー加工溝に沿って被加工物を切削ブレードで切削する切削ステップと、を備える構成とした。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
被加工物の加工方法であって、
被加工物の表面に水溶性保護膜を形成する水溶性保護膜形成ステップと、
該水溶性保護膜形成ステップを実施した後、被加工物の表面にレーザービームを照射してレーザー加工溝を形成するレーザー加工ステップと、
該レーザー加工ステップを実施した後、切削ブレードに切削水を供給しつつ、該水溶性保護膜が形成された被加工物の該レーザー加工溝に沿って被加工物を該切削ブレードで切削する切削ステップと、を備えたことを特徴とする加工方法。
IPC (2件)：
FI (4件)：
H01L21/78 F
, H01L21/78 B
, H01L21/78 P
, B24B27/06 M
3C058AA03
, 3C058AC04
, 3C058DA17
, 3C158AA03
, 3C158AC04
, 3C158DA17
, 5F063AA35
, 5F063BA50
, 5F063CB06
, 5F063CB25
, 5F063DD26
, 5F063DF06
, 5F063DF20
, 5F063DF24
, 5F063FF33
