特許
J-GLOBAL ID：201403030845565629

表面保護シート

発明者：
衛藤 由希

衛藤 由希 について

, 
佐藤 明徳

佐藤 明徳 について


出願人/特許権者：
リンテック株式会社

リンテック株式会社 について


代理人 (3件)： 大谷 保 ,  片岡 誠 ,  石原 俊秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-223655
公開番号（公開出願番号）：特開2014-075560
出願日： 2012年10月05日
公開日（公表日）： 2014年04月24日
要約：
【課題】改質領域が形成されたワークの裏側研削工程の際に用いられる表面保護シートとして好適であって、ワークの裏面研削工程の際に、ワークが割断され形成される間隙からワークの被保護表面に、水の浸入(スラッジ浸入)を抑制して、ワークの被保護表面の汚染を防止し得る表面保護シートを提供する。【解決手段】基材上に粘着剤層を有する表面保護シートであって、下記要件(a)〜(d)を満たす、表面保護シート。(a)前記基材のヤング率が、450MPa以上である(b)前記粘着剤層の25°Cにおける貯蔵弾性率が、0.10MPa以上である(c)前記粘着剤層の50°Cにおける貯蔵弾性率が0.20MPa以下である(d)前記粘着剤層の厚さが、30μm以上である【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基材上に粘着剤層を有する表面保護シートであって、下記要件(a)〜(d)を満たす、表面保護シート。 (a)前記基材のヤング率が、450MPa以上である (b)前記粘着剤層の25°Cにおける貯蔵弾性率が、0.10MPa以上である (c)前記粘着剤層の50°Cにおける貯蔵弾性率が0.20MPa以下である (d)前記粘着剤層の厚さが、30μm以上である
IPC (4件)：
H01L 21/304 ,  H01L 21/301 ,  C09J 7/02 ,  C09J 201/00
FI (6件)：
H01L21/304 622J ,  H01L21/304 631 ,  H01L21/78 B ,  H01L21/78 V ,  C09J7/02 Z ,  C09J201/00
Fターム (47件)：
4J004AA10 ,  4J004AA17 ,  4J004AB06 ,  4J004BA02 ,  4J004CA04 ,  4J004CA06 ,  4J004CB03 ,  4J004CC03 ,  4J004CE01 ,  4J004DA04 ,  4J004DB02 ,  4J004EA06 ,  4J004FA04 ,  4J004FA08 ,  4J040DF041 ,  4J040DF051 ,  4J040DF061 ,  4J040EF282 ,  4J040FA231 ,  4J040FA291 ,  4J040GA02 ,  4J040JA09 ,  4J040JB08 ,  4J040KA13 ,  4J040KA16 ,  4J040KA17 ,  4J040LA09 ,  4J040MA04 ,  4J040MA05 ,  4J040MB05 ,  4J040MB09 ,  4J040NA20 ,  4J040PA20 ,  4J040PA23 ,  4J040PA32 ,  4J040PA42 ,  5F057AA21 ,  5F057BA21 ,  5F057BA26 ,  5F057CA14 ,  5F057CA32 ,  5F057DA11 ,  5F057DA20 ,  5F057EC16 ,  5F057EC17 ,  5F057EC19 ,  5F057FA28
引用特許：
審査官引用 (7件)
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