特許
J-GLOBAL ID：201403042101467074

外観検査方法及び外観検査装置

発明者：
永井 正道

永井 正道 について


出願人/特許権者：
株式会社島津製作所

株式会社島津製作所 について


代理人 (2件)： 三好 秀和 ,  伊藤 正和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-022164
公開番号（公開出願番号）：特開2014-153146
出願日： 2013年02月07日
公開日（公表日）： 2014年08月25日
要約：
【課題】本発明は、基板の配置状態の検査に要する時間を抑制できる外観検査方法及び外観検査装置を提供する。【解決手段】検出対象の外辺の延伸する幅方向に沿った一定の検出幅で、外辺の検出を行う領域を複数の検査領域に分割するステップと、複数の検査領域の1つを基準領域として選択し、幅方向に垂直な高さ方向に沿った第1の検出長さの範囲で、基準領域について外辺の位置を検出するステップと、検出された基準領域の外辺の位置を用いて、基準領域に隣接する検査領域の高さ方向の基準位置を設定するステップと、基準位置と第1の検出長さよりも短い第2の検出長さとによって定義される領域を高さ方向の範囲として、基準領域に隣接する検査領域において外辺を検出するステップと、複数の検査領域それぞれについて外辺が検出されるまで、外辺を検出された検査領域の外辺の位置を用いて外辺の検出を繰り返すステップとを含む。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
矩形状の基板の外辺を検出する外観検査方法において、 検出対象の前記外辺の延伸する幅方向に沿った一定の検出幅で、前記外辺の検出を行う領域を複数の検査領域に分割するステップと、 前記複数の検査領域の1つを基準領域として選択し、前記幅方向に垂直な高さ方向に沿った第1の検出長さの範囲で、前記基準領域について前記外辺の位置を検出するステップと、 検出された前記基準領域の前記外辺の位置を用いて、前記基準領域に隣接する前記検査領域の前記高さ方向の基準位置を設定するステップと、 前記基準位置と前記第1の検出長さよりも短い第2の検出長さとによって定義される領域を前記高さ方向の範囲として、前記基準領域に隣接する前記検査領域において前記外辺を検出するステップと、 前記複数の検査領域それぞれについて前記外辺が検出されるまで、前記外辺を検出された前記検査領域に隣接し且つ前記外辺を未検出の検査領域について、前記外辺を検出された前記検査領域の外辺の位置を用いて前記高さ方向の前記基準位置を設定し、前記第2の検出長さを前記高さ方向の範囲として前記外辺の検出を繰り返すステップと を含むことを特徴とする外観検査方法。
IPC (4件)：
G01N 21/84 ,  G06T 1/00 ,  G01B 11/00 ,  G01B 11/30
FI (4件)：
G01N21/84 Z ,  G06T1/00 305C ,  G01B11/00 H ,  G01B11/30 A
Fターム (28件)：
2F065AA03 ,  2F065AA12 ,  2F065AA17 ,  2F065AA49 ,  2F065AA51 ,  2F065BB01 ,  2F065CC21 ,  2F065DD06 ,  2F065FF01 ,  2F065FF04 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065PP11 ,  2F065QQ31 ,  2F065QQ36 ,  2F065TT02 ,  2G051AA51 ,  2G051AA65 ,  2G051AB20 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051ED30 ,  5B057AA03 ,  5B057CC03 ,  5B057DA07 ,  5B057DB02 ,  5B057DB09 ,  5B057DC02
引用特許：
出願人引用 (6件)
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