特許
J-GLOBAL ID：201403043528575583
基板処理装置における基板搬送方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
稲岡 耕作
, 川崎 実夫
, 安田 昌秀
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-215042
公開番号（公開出願番号）：特開2013-009007
特許番号：特許第5524304号
出願日： 2012年09月27日
公開日（公表日）： 2013年01月10日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 高さの異なる2つの基板保持位置で2枚の基板を保持する複数枚保持部と、
所定の基板保持位置で第1基板を保持し当該基板に所定の基板処理を実行する第1処理ユニットと、
所定の基板保持位置で第2基板を保持し当該基板に所定の基板処理を実行する第2処理ユニットと、
異なる高さで基板を1枚ずつ保持する第1基板保持ハンドおよび第2基板保持ハンドと、第3基板および第4基板を異なる高さで1枚ずつ保持する第3基板保持ハンドおよび第4基板保持ハンドとを含む基板搬送装置と、を備える基板処理装置において実行される基板搬送方法であって、
前記第1基板保持ハンドを前記第1処理ユニットの前記基板保持位置に対向する位置まで移動させ、続いて当該ハンドを当該基板保持位置の下方に移動させ、さらに当該ハンドを当該基板保持位置の上方に移動させることにより、前記第1基板を前記第1処理ユニットから搬出する搬出動作を実行し、
さらに、
前記第3基板保持ハンドを前記第1処理ユニットの前記基板保持位置に対向する位置まで移動させ、続いて当該ハンドを当該基板保持位置の上方に移動させ、さらに当該ハンドを当該基板保持位置の下方に移動させることにより、当該第3基板保持ハンドに保持された前記第3基板を前記第1処理ユニットに搬入する搬入動作を実行し、
さらに、
前記第2基板保持ハンドを前記第2処理ユニットの前記基板保持位置に対向する位置まで移動させ、続いて当該ハンドを当該基板保持位置の下方に移動させ、さらに当該ハンドを当該基板保持位置の上方に移動させることにより、前記第2基板を前記第2処理ユニットから搬出する搬出動作を実行し、
さらに、
前記第4基板保持ハンドを前記第2処理ユニットの前記基板保持位置に対向する位置まで移動させ、続いて当該ハンドを当該基板保持位置の上方に移動させ、さらに当該ハンドを当該基板保持位置の下方に移動させることにより、当該第4基板保持ハンドに保持された前記第4基板を前記第2処理ユニットに搬入する搬入動作を実行し、
その後、
前記第1基板保持ハンドおよび第2基板保持ハンドを前記複数枚保持部の前記2つの基板保持位置に対向する位置まで移動させ、続いて当該第1基板保持ハンドおよび第2基板保持ハンドにより前記第1基板と前記第2基板とを当該2つの基板保持位置に同時に渡す同時渡し動作を実行する、基板処理装置における基板搬送方法。
IPC (2件)：
H01L 21/677 ( 200 6.01)
, H01L 21/304 ( 200 6.01)
H01L 21/68 A
, H01L 21/304 648 B
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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