圧電膜素子及びそれを備えた圧電膜デバイス

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：絹谷信雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-204432
公開番号（公開出願番号）：特開2014-060267
出願日： 2012年09月18日
公開日（公表日）： 2014年04月03日
要約：

【課題】長期使用において十分な信頼性を持つ、即ち、長期使用においてKNN圧電膜の絶縁性が劣化しにくい実用的な圧電膜素子を提供する。【解決手段】基板11と、基板11上に設けられた下部電極構造12と、下部電極構造12上に設けられたKNN圧電膜13と、KNN圧電膜13上に設けられた少なくとも1つの拡散防止構造14と、拡散防止構造14上に設けられた上部電極構造15と、を備え、上部電極構造15は、Au層からなる上部電極16を有し、拡散防止構造14は、KNN圧電膜13側から順に、中間密着層17と、中間密着層17上に設けられると共に上部電極16からKNN圧電膜13へのAuの拡散を防止するAu拡散防止層18と、を有する圧電膜素子10である。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板と、前記基板上に設けられた下部電極構造と、前記下部電極構造上に設けられたKNN圧電膜と、前記KNN圧電膜上に設けられた少なくとも1つの拡散防止構造と、前記拡散防止構造上に設けられた上部電極構造と、を備え、前記上部電極構造は、Au層からなる上部電極を有し、前記拡散防止構造は、前記KNN圧電膜側から順に、中間密着層と、前記中間密着層上に設けられると共に前記上部電極から前記KNN圧電膜へのAuの拡散を防止するAu拡散防止層と、を有することを特徴とする圧電膜素子。

IPC (4件)：

H01L 41/09 , H01L 41/187 , H01L 41/08 , H01L 41/18

FI (5件)：

H01L41/08 L , H01L41/18 101B , H01L41/08 Z , H01L41/08 J , H01L41/18 101Z

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開平3-218687
複合型圧電振動部品、及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-021976 出願人：セイコーインスツルメンツ株式会社
特開平3-218687

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