特許
J-GLOBAL ID：201403051341432846
電流印加装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
正林 真之
, 林 一好
, 星野 寛明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-045791
公開番号（公開出願番号）：特開2014-032172
出願日： 2013年03月07日
公開日（公表日）： 2014年02月20日
要約：
【課題】被検査体と面接触する接触体が被検査体の表面に均一に接触し、接触体から被検査体に電流を良好に印加可能であって、当該接触体のみが交換可能な電流印加装置を提供する。【解決手段】パワー半導体Hに圧接して電流を印加するプローブ装置1であって、パワー半導体Hと面接触する接触体2と、接触体2をパワー半導体Hに押圧する複数の導電性2段バネ31と、を備え、接触体2と複数の導電性2段バネ31とは、別体で構成され、複数の導電性2段バネ31は、接触体2の複数の区分にそれぞれ押圧力Fを付与するとともに、接触体2に通電する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
被検査体に圧接して電流を印加する電流印加装置であって、
被検査体と面接触する接触体と、
前記接触体を被検査体に押圧する押圧体と、を備え、
前記接触体と前記押圧体とは、別体で構成され、
前記押圧体は、前記接触体の複数の区分にそれぞれ押圧力を付与するとともに、前記接触体に通電することを特徴とする電流印加装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01R31/26 J
, G01R1/067 B
2G003AA01
, 2G003AA02
, 2G003AA04
, 2G003AE09
, 2G003AG03
, 2G003AG12
, 2G003AG20
, 2G003AH07
, 2G011AA01
, 2G011AA09
, 2G011AA16
, 2G011AB01
, 2G011AB07
, 2G011AC14
, 2G011AE01
, 2G011AE03
, 2G011AF01
