特許
J-GLOBAL ID：201403063834423712

配線構造及びその製造方法

発明者：
佐藤 信太郎

佐藤 信太郎 について

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近藤 大雄

近藤 大雄 について

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佐藤 元伸

佐藤 元伸 について

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二瓶 端久

二瓶 端久 について


出願人/特許権者：
独立行政法人産業技術総合研究所

独立行政法人産業技術総合研究所 について


代理人 (1件)： 國分 孝悦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-245594
公開番号（公開出願番号）：特開2014-096411
出願日： 2012年11月07日
公開日（公表日）： 2014年05月22日
要約：
【課題】ビア部にCNTを、配線部にグラフェンを利用した配線構造において、比較的簡素な構成でCNTとグラフェンとの確実な電気的接続を実現する信頼性の高い配線構造を得る。【解決手段】ビア孔5a内にCNT7aが形成されてなるビア部7と、層間絶縁膜3上で多層グラフェン4Aからなる配線部4とが、Cu等の金属ブロック10を介して電気的に接続され、配線構造が構成される。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
カーボンナノチューブとグラフェンとが、金属ブロックを介して電気的に接続されていることを特徴とする配線構造。
IPC (4件)：
H01L 21/320 ,  H01L 21/768 ,  H01L 23/532 ,  C01B 31/02
FI (3件)：
H01L21/88 M ,  C01B31/02 101F ,  C01B31/02 101Z
Fターム (59件)：
4G146AA01 ,  4G146AA11 ,  4G146AA19 ,  4G146AB07 ,  4G146AD05 ,  4G146AD17 ,  4G146AD28 ,  4G146BA01 ,  4G146BA12 ,  4G146BA48 ,  4G146BB22 ,  4G146BB23 ,  4G146BC02 ,  4G146BC09 ,  4G146BC23 ,  4G146BC42 ,  4G146BC44 ,  4G146CB07 ,  4G146CB15 ,  4G146CB19 ,  4G146CB21 ,  4G146CB28 ,  4G146CB34 ,  5F033HH00 ,  5F033HH07 ,  5F033HH08 ,  5F033HH11 ,  5F033HH15 ,  5F033HH18 ,  5F033HH21 ,  5F033HH32 ,  5F033HH33 ,  5F033JJ00 ,  5F033JJ15 ,  5F033JJ18 ,  5F033JJ32 ,  5F033KK25 ,  5F033LL01 ,  5F033MM12 ,  5F033MM13 ,  5F033PP06 ,  5F033PP15 ,  5F033PP27 ,  5F033PP28 ,  5F033QQ00 ,  5F033QQ08 ,  5F033QQ09 ,  5F033QQ12 ,  5F033QQ13 ,  5F033QQ48 ,  5F033QQ49 ,  5F033QQ59 ,  5F033QQ62 ,  5F033QQ66 ,  5F033RR01 ,  5F033RR04 ,  5F033SS11 ,  5F033XX05 ,  5F033XX09
引用特許：
審査官引用 (7件)
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引用文献：
審査官引用 (1件)

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