特許
J-GLOBAL ID：201403068614136102
液処理装置、液処理方法及び液処理用記憶媒体
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中本 菊彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-085361
公開番号（公開出願番号）：特開2014-140001
出願日： 2013年04月16日
公開日（公表日）： 2014年07月31日
要約：
【課題】一のフィルタで複数のフィルタを設けた場合と同様の濾過効率を得ると共に、スループット低下の防止を図る。【解決手段】制御部101からの制御信号に基づいて、レジスト液Lをフィルタ52を介してポンプ70に吸入し、ポンプに吸入されたレジスト液の一部を吐出ノズル7から吐出し、残りのレジスト液をフィルタの一次側の供給管路51bに戻し、吐出量に等しい補充量を戻り量に加えて合成し、合成されたレジスト液を吐出量と戻り量の比率の合成に応じた回数で、レジスト液の吐出とフィルタによる濾過を行う。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
処理液を貯留する処理液容器と、
被処理基板に上記処理液を吐出する吐出ノズルと、
上記処理液容器と上記吐出ノズルを接続する供給管路と、
上記供給管路に介設され、上記処理液を濾過するフィルタと、
上記フィルタの二次側の上記供給管路に介設されるポンプと、
該ポンプの吐出側と上記フィルタの一次側とを接続する戻り管路と、
上記ポンプの上記フィルタとの接続部、上記吐出ノズルとの接続部及び上記戻り管路との接続部にそれぞれ設けられる第1,第2及び第3の開閉弁と、
上記ポンプ及び上記第1,第2,第3の開閉弁を制御する制御部とを具備し、
上記制御部からの制御信号に基づいて、上記ポンプの吸入により上記フィルタを通過する処理液の一部を上記吐出ノズルから吐出し、残りの処理液を上記フィルタの一次側の供給管路に戻し、吐出量に等しい補充量を戻り量に加えて合成し、合成された処理液を上記吐出量と上記戻り量の比率の合成に応じた回数で、上記処理液の吐出と上記フィルタによる濾過を行うことを特徴とする液処理装置。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, B05C 11/10
, B05D 3/00
H01L21/30 564Z
, H01L21/30 569Z
, B05C11/10
, B05D3/00 B
4D075AC64
, 4D075AC84
, 4D075CA47
, 4D075DA08
, 4D075DB14
, 4D075DC22
, 4D075EA45
, 4F042AA07
, 4F042AB00
, 4F042CB08
, 4F042CB20
, 4F042CB25
, 4F042CB26
, 5F146JA03
, 5F146LA03
, 5F146LA19
