特許
J-GLOBAL ID：201103071041306244

薬液供給装置および薬液供給方法

発明者：
武石 敏男

武石 敏男 について


出願人/特許権者：
株式会社コガネイ

株式会社コガネイ について


代理人 (3件)： 筒井 大和 ,  小塚 善高 ,  筒井 章子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-257828
公開番号（公開出願番号）：特開2011-101851
出願日： 2009年11月11日
公開日（公表日）： 2011年05月26日
要約：
【課題】薬液に含まれる気泡や塵等の異物を除去しつつ、一定量の薬液を吐出ノズルから高精度で吐出し得るようにする。【解決手段】薬液供給装置は弾性変形自在のベローズ14により膨張収縮するポンプ室15が設けられたポンプ12を有し、薬液容器10内の薬液はポンプ室15に吸入流路21を介して案内される。ポンプ室15内の薬液は吐出流路22を介して吐出ノズル11に吐出される。ポンプ12にはポンプ室15から供給された薬液をポンプ室15に戻すとともに膨張収縮部を有する循環流路23がループ状に接続されている。循環流路23にはポンプ室に戻される薬液を濾過するフィルタ30が設けられている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
ポンプ部材により膨張収縮するポンプ室が設けられたポンプに接続され、薬液容器内の薬液を前記ポンプ室に案内する吸入流路と、 前記ポンプと吐出ノズルとの間に接続され、前記ポンプ室内の薬液を前記吐出ノズルに吐出する吐出流路と、 前記ポンプ室から供給された薬液を一時的に貯留する膨張収縮部が設けられるとともに流入部と流出部とがそれぞれ前記ポンプに接続され、前記ポンプ室から供給された薬液を前記ポンプ室に戻す循環流路とを有し、 前記循環流路を介して前記ポンプ室に戻される薬液を濾過するフィルタを前記循環流路に設け、 前記薬液容器内の薬液の前記循環流路における循環動作と、前記循環流路内の濾過された薬液の前記吐出ノズルへの吐出動作とを前記ポンプにより行うことを特徴とする薬液供給装置。
IPC (4件)：
B05C 11/10 ,  B05C 5/00 ,  G03F 7/16 ,  H01L 21/027
FI (4件)：
B05C11/10 ,  B05C5/00 101 ,  G03F7/16 501 ,  H01L21/30 564Z
Fターム (16件)：
2H125CA12 ,  2H125EA12P ,  4F041AA06 ,  4F041AB01 ,  4F041BA35 ,  4F041BA59 ,  4F042AA07 ,  4F042CB02 ,  4F042CB08 ,  4F042CB20 ,  4F042CB25 ,  4F042CC22 ,  5F046JA01 ,  5F046JA27 ,  5F146JA01 ,  5F146JA27
引用特許：
出願人引用 (10件)
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