特許
J-GLOBAL ID：201403084576445495
基板搬送設備
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井上 俊夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-138005
公開番号（公開出願番号）：特開2014-003181
出願日： 2012年06月19日
公開日（公表日）： 2014年01月09日
要約：
【課題】保持部によって基板を保持して搬送するにあたり、保持部を昇降させるための昇降機構において発生するパーティクルによる基板の汚染を抑制すること。【解決手段】ウエハWを保持して搬送するためのアーム3と、当該アーム3を昇降させるための昇降機構であるボールネジ4との間に、パーティクルを吸い込むためのガス吸い込み口53がボールネジ4側を向くように且つ当該ボールネジ4の長さ方向に沿って形成された局所排気ダクト50を配置する。また、このボールネジ4に対して局所排気ダクト50を近接配置する。【選択図】図7
請求項（抜粋）：
基板を保持して搬送するための保持部と前記保持部を昇降させる昇降機構とを含む基板搬送機構と、
前記保持部によって基板が搬送される基板搬送領域と前記昇降機構との間に設けられ、当該昇降機構から発生するパーティクルを吸い込むためのガス吸い込み口がこの昇降機構側を向くように且つ当該昇降機構の長さ方向に沿って形成された排気ダクトと、
一端側が前記昇降機構に取り付けられると共に、他端側に前記保持部が設けられた昇降基体と、を備えたことを特徴とする基板搬送設備。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (24件)：
5F131AA02
, 5F131CA15
, 5F131DA32
, 5F131DA33
, 5F131DA43
, 5F131DB03
, 5F131DB54
, 5F131DB62
, 5F131DB76
, 5F131DB88
, 5F131DD03
, 5F131DD33
, 5F131EC02
, 5F131EC05
, 5F131GA14
, 5F131GB02
, 5F131GB12
, 5F131GB22
, 5F131GB27
, 5F131HA28
, 5F131JA08
, 5F131JA27
, 5F131JA32
, 5F131JA35
出願人引用 (7件)
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処理ユニット
公報種別：公開公報
出願番号：特願平10-233664
出願人：東京応化工業株式会社, タツモ株式会社
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基板処理装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平9-069217
出願人：国際電気株式会社
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処理装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平5-008516
出願人：東京エレクトロン東北株式会社
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審査官引用 (3件)
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処理ユニット
公報種別：公開公報
出願番号：特願平10-233664
出願人：東京応化工業株式会社, タツモ株式会社
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基板処理装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平9-069217
出願人：国際電気株式会社
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処理装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平5-008516
出願人：東京エレクトロン東北株式会社
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