特許
J-GLOBAL ID：201403087256332853
研磨装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
川村 恭子
, 佐々木 功
, 久保 健
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-215995
公開番号（公開出願番号）：特開2014-069261
出願日： 2012年09月28日
公開日（公表日）： 2014年04月21日
要約：
【課題】保持テーブルの保持面に保持された板状ワークに研磨パッドを接触させて研磨を行う研磨装置において、保持テーブルの保持面とパッド装着面とをより高精度に平行にする。【解決手段】板状ワークを保持する保持面200を有する保持テーブル2と、板状ワークを研磨する回転可能な研磨パッド33が装着されるパッド装着面320を有する研磨手段3と、研磨パッド33の研磨面330の保持面200に対する平行度を調整する調整手段5と、研磨手段3を保持テーブル2に対して接近および離反させる研磨送り手段4とを少なくとも備えた研磨装置1において、複数の圧力検知部が配列されたシート状の圧力検知シート7を保持面200上に載置して研磨パッド33を圧力検知シート7に押圧して圧力検知シート7の圧力分布を認識し、その圧力分布に基づき、調整手段5によって保持テーブル2の保持面200とパッド装着面320との平行度を制御する。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
板状ワークを保持する保持面を有する保持テーブルと、
該保持テーブルに保持された板状ワークを研磨する回転可能な研磨パッドが装着されるパッド装着面を有する研磨手段と、
該パッド装着面に装着された該研磨パッドの研磨面の該保持面に対する平行度を調整する調整手段と、
該研磨手段を該保持テーブルに対して接近および離反させる研磨送り手段と、を少なくとも備えた研磨装置であって、
複数の圧力検知部が配列されたシート状の圧力検知シートと、
該保持面と該研磨面との間に該圧力検知シートを挿入させ該保持面に該圧力検知シートを載置する圧力検知シート載置手段と、
該研磨送り手段によって該研磨手段を研磨送りし、該圧力検知シート載置手段によって該保持テーブルに載置された該圧力検知シートを該研磨パッドによって押圧し、該圧力検知部が検知した圧力値によって該圧力検知シートの圧力分布を認識する認識部と、
該認識部が認識した圧力分布を基に、該調整手段によって該保持面と該パッド装着面との平行度を制御する制御部と、
を備えた研磨装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (7件)：
3C058AA07
, 3C058AC02
, 3C058BA05
, 3C058BB09
, 3C058BC02
, 3C058CB01
, 3C058DA02
